質(zhì)量流量控制器是測量流體流量并控制流量的裝置。

它用于需要高級流量控制的過程現(xiàn)場。質(zhì)量流量是指質(zhì)量流量,。流量有兩種類型：體積流量和質(zhì)量流量。質(zhì)量流量傳感器測量質(zhì)量流量,，而不是體積流量,。

由于質(zhì)量流量不受流體類型、特性和溫度等環(huán)境條件的影響,，因此可以比體積壓力更準(zhǔn)確地測量和控制流量,。

質(zhì)量流量控制器的使用

質(zhì)量流量控制器除了測量流量之外還可以控制流體。此外,，由于它可以實(shí)現(xiàn)高精度和穩(wěn)定的控制,，因此可用于各種過程現(xiàn)場和實(shí)驗(yàn)室。在半導(dǎo)體制造工藝中,，用于成膜,、蝕刻等工序。除半導(dǎo)體外,，還使用光纖,、液晶和生物技術(shù)等多種產(chǎn)品。在實(shí)驗(yàn)室中,，它們還用于控制分析儀器中的載氣,。

質(zhì)量流量控制器由傳感器、旁路,、流體控制閥和電路組成,。熱式流量傳感器通常用作流量傳感器。流體被傳遞到質(zhì)量流量控制器內(nèi)的傳感器和旁路,。在傳感器中,，流體流經(jīng)的管道周圍纏繞有加熱器，將管道上游和下游兩側(cè)流動的氣體之間的溫差轉(zhuǎn)換成電信號來測量流量,。熱質(zhì)量傳感器對可發(fā)送到傳感器的流體量有限制,。

因此，通過將一部分流量輸送至傳感器,，其余流量輸送至旁路,，可以保持分流比恒定，從而即使在流量較大時(shí)也可以高精度地控制流量,。流體控制閥根據(jù)傳感器測量的流量來調(diào)節(jié)流量,。流體控制閥使用電磁執(zhí)行器、熱執(zhí)行器和壓電執(zhí)行器作為執(zhí)行器（將電信號轉(zhuǎn)換為物理運(yùn)動的裝置） ,。

如何選擇質(zhì)量流量控制器

為了選擇質(zhì)量流量控制器,，需要考慮氣體類型,、最大流量和工作壓力等條件。質(zhì)量流量控制器是根據(jù)所使用的氣體類型來設(shè)置的,，因此無法對不同的氣體類型進(jìn)行精確測量,。

另外，在腐蝕性氣體的情況下,，需要選擇耐腐蝕性高的密封材料,。質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍一般為2-100%FS（最大流量），因此需要選擇與所使用的流量相匹配的最大流量,。質(zhì)量流量控制器中使用的流量調(diào)節(jié)閥通過閥門開度來調(diào)節(jié)流量,，因此一次側(cè)和二次側(cè)之間需要有壓力差。一般以50-300kPa為宜,，但壓差太大或太小,，都無法正確調(diào)節(jié)流量。另外,，選擇時(shí)可能還需要注意要控制的溫度和接頭,。