雙腔體脈沖激光沉積系統(tǒng)
- 公司名稱 北京瑞科中儀科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/7/10 14:27:23
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價格區(qū)間 | 10萬-50萬 | 應用領域 | 化工,石油,道路/軌道/船舶,制藥/生物制藥,綜合 |
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腔體尺寸 | 球形腔體,,直徑:400 mm | 樣品尺寸 | 1 英寸或 2 英寸向下兼容 |
樣品加熱 | 輻射式加熱 / 電阻式加熱 / 激光加熱 1000 ℃ / 950 ℃ / 1400 ℃ | 靶臺操控 | 6 靶位,,1 英寸靶托,,公自轉(zhuǎn)設計 |
抽氣泵組 | 國產(chǎn): BWVAC油泵,360 l/min KYKY分子泵,,600 l/s | 真空測量 | 國產(chǎn):Reborn電阻電離復合規(guī) |
氣路 | 國產(chǎn):質(zhì)量流量計Flowmethod,,50 / 100 sccm | 控壓方式 | 手動角閥/漏閥控壓 |
極限真空 | 手動角閥/漏閥控壓 | 極限真空 | 5 x 10-9 mbar |
雙腔體脈沖激光沉積系統(tǒng)(Dual Chamber Pulsed Laser Deposition System)是一種先進的薄膜制備技術,它結(jié)合了脈沖激光沉積(PLD)技術和雙腔體設計的優(yōu)勢,。這種系統(tǒng)通常用于在實驗室環(huán)境中生長高質(zhì)量的薄膜材料,,廣泛應用于物理、化學,、材料科學和工程等領域,。
脈沖激光沉積(PLD)是一種物理氣相沉積技術,它利用高能量的脈沖激光束轟擊靶材表面,,使靶材物質(zhì)迅速蒸發(fā),、電離并形成等離子體羽輝。這些高能量的離子和原子隨后沉積在基片表面,,經(jīng)過成核和生長過程形成薄膜,。PLD具有生長速度快、薄膜成分易于控制,、能夠保持靶材的原始結(jié)構(gòu)等優(yōu)點,。
雙腔體設計則進一步提高了PLD系統(tǒng)的靈活性和功能性。該系統(tǒng)通常包含兩個獨立的沉積腔室,,每個腔室都可以獨立地進行薄膜生長過程,。這種設計允許研究人員在同一臺設備上同時制備不同種類的薄膜,或者在不同的生長條件下進行對比實驗,。此外,,雙腔體設計還可以減少實驗過程中的污染和交叉污染風險,提高實驗結(jié)果的可靠性,。
雙腔體脈沖激光沉積系統(tǒng)通常配備有先進的光學系統(tǒng)、激光系統(tǒng),、真空系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等組件,。光學系統(tǒng)用于精確控制激光束的聚焦和定位,確保激光能夠準確地轟擊靶材表面,。激光系統(tǒng)則提供高能量的脈沖激光束,,激發(fā)靶材物質(zhì)形成等離子體羽輝。真空系統(tǒng)則用于維持腔室內(nèi)的高真空環(huán)境,,防止外界氣體對薄膜生長的干擾,。控制系統(tǒng)則負責整個系統(tǒng)的自動化運行和參數(shù)調(diào)整,,確保實驗過程的穩(wěn)定性和可重復性,。
總之,,雙腔 體脈沖激光沉積系統(tǒng)是一種高效、靈活且可靠的薄膜制備技術,,它在材料科學研究和新材料開發(fā)中發(fā)揮著重要作用,。通過精確控制實驗條件和參數(shù),研究人員可以制備出具有優(yōu)異性能的新型薄膜材料,,為推動科技進步和創(chuàng)新做出重要貢獻,。