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MSK-PSE-GEC1515 鈣鈦礦手套箱蒸鍍一體機(jī)
- 公司名稱 深圳市科晶智達(dá)科技有限公司
- 品牌 深圳科晶
- 型號(hào) MSK-PSE-GEC1515
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/2/18 14:02:25
- 訪問(wèn)次數(shù) 785
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| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,綜合 |
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鈣鈦礦手套箱蒸鍍一體機(jī)
六源鈣鈦礦真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)配備3組有機(jī)束源式蒸發(fā)源爐+3組舟式蒸發(fā)源,，可蒸鍍切換最多6種有機(jī)材料如：Cu、Ag,、C60,、NPB、TPBi等材料,，與專用雙節(jié)單面雙工位手套箱對(duì)接組成一體機(jī)后可在手套箱中操作,。設(shè)備廣泛應(yīng)用于高校、科研院所的教學(xué),、科研實(shí)驗(yàn)以及生產(chǎn)型企業(yè)前期探索性實(shí)驗(yàn)及開(kāi)發(fā)新產(chǎn)品等,。
| 真空蒸發(fā)鍍膜機(jī)功能特點(diǎn) |
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真空腔室：采用304不銹鋼腔室，設(shè)計(jì)有前門(mén)雙導(dǎo)軌和后門(mén)手動(dòng)鉸鏈結(jié)構(gòu),，前后門(mén)帶玻璃觀察窗及防污擋板,。腔室內(nèi)外表面經(jīng)過(guò)拋光處理，并預(yù)留有照明,、膜厚儀等設(shè)備接口,；
真空系統(tǒng)：配備中科科儀脂潤(rùn)滑分子泵FF-200/1300口徑與鮑斯BSV-30機(jī)械泵，具有高效的抽氣能力,，抽氣時(shí)間短且極限真空度高（優(yōu)于2.0×10-5Pa）,，關(guān)機(jī)12小時(shí)后仍可保持良好真空性能；
基片臺(tái)：抽屜式結(jié)構(gòu),，可承載最大L150mm*W150mm樣品,，配氣動(dòng)基片大擋板，支持旋轉(zhuǎn)和水冷功能,，與蒸發(fā)源距離可調(diào),，手動(dòng)升降調(diào)節(jié)最大50mm可調(diào)；
蒸發(fā)源及電源：系統(tǒng)配置3組舟式蒸發(fā)源,，金屬源采用水冷銅電極+蒸發(fā)舟結(jié)構(gòu),，最高溫度可達(dá)1500℃；并配備2.4KW蒸發(fā)電源,，支持恒流和恒壓兩種驅(qū)動(dòng)模式,，可手動(dòng)/軟件控制也可通過(guò)膜厚儀PID控制調(diào)節(jié)蒸發(fā)速率,；
膜厚控制系統(tǒng)：采用進(jìn)口INFICON公司的SQC-310膜厚儀，精度高達(dá)0.01埃,，能自動(dòng)控制金屬蒸發(fā)電源輸出,。同時(shí)，還配備了西門(mén)子PLC+觸摸屏手自動(dòng)控制系統(tǒng),，可以輸入速率和終厚,，通過(guò)PID調(diào)節(jié)實(shí)現(xiàn)對(duì)蒸發(fā)電源輸出的控制；
多項(xiàng)安全保護(hù)功能疊加,，安全系數(shù)大大增加,；
機(jī)械泵前加裝分子篩，抽氣口加裝過(guò)濾網(wǎng),、百葉窗等防護(hù)件,，氣路設(shè)計(jì)避免揚(yáng)塵；
所有樣品臺(tái),、源擋板,，樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)均采用磁流體密封，保證系統(tǒng)長(zhǎng)期穩(wěn)定性,。
鈣鈦礦手套箱蒸鍍一體機(jī)
| 手套箱功能特點(diǎn) |
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密閉循環(huán),，手套箱內(nèi)的惰性氣體經(jīng)循環(huán)風(fēng)機(jī)和凈化器密閉循環(huán)，不斷地除水除氧,；
自動(dòng)控制再生,，除水除氧材料可以再生，再生過(guò)程由程序控制,；
自動(dòng)清洗，手套箱內(nèi)的氣氛置換通過(guò)自動(dòng)控制的清洗閥門(mén)完成,；
箱體壓力控制,，手套箱內(nèi)壓力通過(guò)PLC自動(dòng)；
真空泵自動(dòng)控制,，真空泵可在系統(tǒng)需要時(shí)自動(dòng)開(kāi)啟,；
手套箱用于操作蒸鍍儀的手套位高度比常規(guī)手套位高度高50mm，更方便對(duì)蒸鍍儀進(jìn)行操作,；
側(cè)面預(yù)留有安裝釘,，可用于固定蒸鍍儀的支架和觸摸屏；
大過(guò)渡艙補(bǔ)氣采用氣瓶補(bǔ)氣方式,。
| 真空蒸鍍儀技術(shù)參數(shù) | |
|---|---|
| 電源 | 三相五線制AC380V±10%,，頻率：50Hz，總功率約8KW |
| 氣源 | 壓縮空氣：干燥,、干凈,、無(wú)水,、無(wú)油的壓縮空氣，8mm塑料氣管,，壓力5.5～6公斤（0.55-0.6MPA） 氮?dú)猓焊稍锏獨(dú)?，用于設(shè)備腔室破真空，8mm塑料氣管,，壓力1-2公斤（0.1-0.2MPA） |
| 水源 | 流量15-20升/分鐘,，15～25℃， 進(jìn)水和出水壓差3～4公斤,，進(jìn)水壓力3～5公斤,， 設(shè)備的進(jìn)水和出水口外徑1英寸， 建議在設(shè)備的進(jìn)水口前安裝一個(gè)球閥,，方便調(diào)節(jié)水壓和水流量 |
| 真空極限 | 真空極限優(yōu)于2.0×10-5Pa 漏率：優(yōu)于5×10－8Pa*L/S（國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)） 關(guān)機(jī)12小時(shí)后,，真空度≤5Pa；（手套箱干燥氮?dú)猸h(huán)境） |
| 抽速 | 抽氣時(shí)間：大氣壓～5*10-4Pa,，小于25min,；（手套箱干燥氮?dú)猸h(huán)境） |
| 真空室 | 304L不銹鋼方形真空室，內(nèi)部電拋光,，立式前后開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu) 前門(mén)配有帶檔板直徑4英寸觀察窗1個(gè)（配防污玻璃）,，后門(mén)配有小觀察窗用于觀察樣品源和樣品2個(gè)（配防污玻璃） 內(nèi)襯材質(zhì)：不銹鋼，多片結(jié)構(gòu)方便拆卸安裝 左側(cè)：連接主閥門(mén)和分子泵,，真空測(cè)量接口 頂部：安裝旋轉(zhuǎn)水冷樣品臺(tái),、樣品臺(tái)大擋板、膜厚儀接口各1個(gè) 底板：安裝金屬蒸發(fā)電極,、有機(jī)束源蒸發(fā)源爐各3組（預(yù)留一組膜厚儀探頭安裝口） 真空室下方為一體式電控部分,，配有萬(wàn)向輪和地腳，方便移動(dòng) |
| 抽真空系統(tǒng) | 分子泵+機(jī)械泵組合式真空系統(tǒng),，氣動(dòng)閥門(mén) 分子泵：中科科儀脂潤(rùn)滑分子泵FF-200/1300口徑,，抽速：1300L/S 機(jī)械泵：BSV30機(jī)械泵，抽速：9L/S 真空閥門(mén)：DN40mm 擋板閥2套,；中科科儀氣動(dòng)主閥DN200 1套 真空密封：可拆靜密封采用氟橡膠圈密封,，不常拆靜密封采用無(wú)氧銅密封 |
| 真空計(jì) | 復(fù)合真空計(jì)（一低一高2個(gè)真空計(jì)） 自動(dòng)控制切換低真空、高真空測(cè)量,，范圍：大氣到5E-9torr 真空讀數(shù)輸入PLC,，用于工藝控制 |
| 蒸發(fā)源 | 配備3組舟式蒸發(fā)源。帶2.4KW電源1套恒流恒壓模式 配備3組有機(jī)束源蒸發(fā)源,，配套3組坩堝,，加熱溫度：0～700℃，角度可調(diào)范圍：15° 配備3臺(tái)有機(jī)蒸發(fā)電源,，配備實(shí)時(shí)顯示坩堝溫度日本導(dǎo)電溫控儀,，可程序段控溫 |
| 工件架 | 配有自轉(zhuǎn)電動(dòng)工件盤(pán),，一次性放置最大150*150mm樣品，配有單轉(zhuǎn)軸空心磁流體密封,，樣品旋轉(zhuǎn) 高扭矩電機(jī)和控制器,，轉(zhuǎn)速0～30RPM可調(diào) 帶冷卻功能 主控系統(tǒng)控制開(kāi)關(guān)，轉(zhuǎn)速檢測(cè)并顯示 氣動(dòng)大擋板 |
| 系統(tǒng)自動(dòng)控制 | 西門(mén)子PLC+觸摸屏手自動(dòng)控制,，可輸入速率及終厚,，PID調(diào)節(jié)自動(dòng)控制蒸發(fā)電源輸出 控制內(nèi)容：機(jī)械泵，分子泵,，氣動(dòng),、電磁閥門(mén)、真空計(jì)等等,；自動(dòng)抽真空,、自動(dòng)鍍膜、自動(dòng)排氣等 完整的互鎖保護(hù)（硬件,、軟件互鎖）,，另外系統(tǒng)配備水流檢測(cè)報(bào)警裝置 |
| 安全保護(hù) | 缺水欠壓檢測(cè)與保護(hù)、相序檢測(cè)與保護(hù),、溫度檢測(cè)與保護(hù),、真空系統(tǒng)檢測(cè)與保護(hù) 對(duì)泵、電極等缺水,、過(guò)流過(guò)壓,、斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施 |
| 真空室尺寸 | 約L400*W400*H450mm |
| 外形尺寸 | 約L1000*W780*H2000mm |
| 重量 | 約360kg |
| 手套箱技術(shù)參數(shù) | ||
|---|---|---|
| 電源 | 單相AC220V±10%，頻率：50Hz,，總功率約1KW | |
| 工作環(huán)境 | 建議環(huán)境溫度25±3℃,，濕度30~90RH，無(wú)振動(dòng)和電磁干擾 | |
| 工位形式 | 單面出雙工位 | |
| 箱體材質(zhì) | 厚度3mm,，SUS304不銹鋼 | |
| 泄露率 | ≤0.005vol%/h | |
| 玻璃窗 | 傾斜設(shè)計(jì),， 10mm 安全鋼化玻璃，使用螺絲固定 | |
| 手套口 | 直徑 220mm,，防腐蝕處理，硬鋁合金材質(zhì) | |
| 手套 | 口徑 8 英寸,，厚度 0.4 mm | |
| 機(jī)架 | 高約960mm,，含腳輪，可轉(zhuǎn)移手套箱 | |
| 擱物架 | 不銹鋼材料,，可調(diào)節(jié)高度 | |
| 照明 | 節(jié)能照明燈安裝在每塊玻璃窗前上方,，貼有防反射材料，光線柔和,，防視覺(jué)疲勞 | |
| 接口 | 備用接口6個(gè),，KF40,；電源接口1個(gè) （220V，50Hz） | |
| 大過(guò)渡艙 | 艙體 | SUS304不銹鋼,，采用氣彈簧式開(kāi)門(mén)方式,，通過(guò)法蘭連接 |
| 尺寸 | 直徑 360mm, 長(zhǎng)度 600mm | |
| 滑動(dòng)托盤(pán) | SUS304不銹鋼，約L595mm*W230 mm,，可左右自由移動(dòng)延伸深度 361mm,，可拆卸 | |
| 自動(dòng)抽補(bǔ)氣 | 單獨(dú)接氣瓶補(bǔ)氣 | |
| 小過(guò)渡艙 | 艙體 | SUS304不銹鋼，與手套箱安裝 |
| 尺寸 | 直徑 320mm, 長(zhǎng)度 155mm（進(jìn)入箱體部分100mm） | |
| 手動(dòng)控制系統(tǒng) | 采用手動(dòng)閥門(mén)控制 | |
| 控制系統(tǒng) | 腳踏板 | 使用腳踏開(kāi)關(guān),，對(duì)箱壓進(jìn)行微調(diào) |
| 顯示屏 | 包括自診斷,、斷電自啟動(dòng)特性，具備壓力控制和自適應(yīng)功能 自動(dòng)控制,、循環(huán)控制,、密碼保護(hù)、真空室控制采用 LCD 顯示 操作菜單可選：中文/英文 通過(guò) PLC 觸摸式調(diào)節(jié)（抽空,、凈化,、再生）全過(guò)程無(wú)需人為監(jiān)控 | |
| 循環(huán)凈化系統(tǒng) | 凈化柱 | 凈化材料：銅催化劑 5kg，分子篩 5kg |
| 凈化能力 | 水,、氧<1ppm 除水能力：2kg 除氧能力：80L | |
| 循環(huán)風(fēng)機(jī) | 流量 0-90m3/h,，微處理器控制，經(jīng)過(guò)壓力測(cè)試的不銹鋼裝置 | |
| 凈化安全閥 | 高真空氣動(dòng)擋板閥 | |
| 過(guò)濾器 | 采用符合HEPA標(biāo)準(zhǔn)的0.3微米孔徑濾網(wǎng)的高效率過(guò)濾器 | |
| 內(nèi)箱尺寸 | 右側(cè)大內(nèi)箱約L1000mm*W780*H900mm 左側(cè)小內(nèi)箱約L800mm*W300*H900mm | |
| 整機(jī)尺寸 | 約L2410*850*H1860mm | |
| 設(shè)備重量 | 約920kg | |
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