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TMS-2000 其他設(shè)備晶圓測試儀

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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深圳市嘉惠捷科技有限公司基于對國內(nèi)測試儀器市場具體需求狀況和、國內(nèi)儀器行業(yè)發(fā)展趨勢的掌握,,依托國外穩(wěn)定的貨源渠道,。專注于國內(nèi)電子測試儀器、通信儀器,、微波儀器,、高頻儀器、光纖通信儀器等進(jìn)口二手測試儀器的銷售,、租賃,、回收、維修,、校正等業(yè)務(wù),。
公司現(xiàn)貨供應(yīng)惠普(安捷倫)、泰克,、安立,、愛得萬、橫河,、安騰,、力科,、馬可尼(IFR)、R&S等世界之頻譜分析儀,、網(wǎng)絡(luò)分析儀,、無線綜合測試儀、邏輯分析儀,、阻抗分析儀,、信號源、信號發(fā)生器,、信號分析儀,、中高檔示波器、頻率計,、電子與負(fù)載等電子通用測試儀器及誤碼儀,、眼圖儀、光譜分析儀,、光時域反射儀(OTDR),、可調(diào)諧激光源、光功率計,、光衰減器等光纖通信儀器,。 儀器品種繁多,并可提供計量合格證書及壹年保修,、終身維護(hù)的售后服務(wù),。
我公司大量回收閑置二手儀器儀表設(shè)備,全部現(xiàn)款交易,;對外承接高檔測試儀器儀表的維修和校正服務(wù),。
經(jīng)營范圍:二手測試儀器的銷售、租賃,、維修,、檢測。銷售,、維修系列環(huán)境實(shí)驗(yàn)設(shè)備,。銷售全新系列品牌測試儀器。



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價格區(qū)間 50萬-80萬 應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池,綜合

圣德科 TMS-2000 晶圓測試儀

產(chǎn)品概述:
Santec 的新系統(tǒng) TMS-2000 為半導(dǎo)體晶圓厚度的高精度亞納米映射帶來了新的動態(tài),。TMS-2000 采用一種新型激光掃描方法,,以前從未在業(yè)界用于晶圓映射,為行業(yè)提供了多項(xiàng)優(yōu)勢;對溫度變化不敏感的精確厚度測量,,一個系統(tǒng)不僅可以測量單層硅,,還可以測量碳化硅和氮化鎵等功率半導(dǎo)體,以及SOI等多層晶圓,,其成本點(diǎn)對于在生產(chǎn)中的廣泛部署具有吸引力,。隨著半導(dǎo)體器件尺寸的減小,光刻工藝的公差變得更細(xì),,提高了晶圓厚度和場地平面度測量的高精度的重要性,。對于非接觸式亞納米重復(fù)性測量,業(yè)界一直依賴外差干涉或Fizeau條紋分析系統(tǒng),,這些系統(tǒng)在普遍采用方面存在一些缺點(diǎn),。這些目前的解決方案需要正面和背面晶圓照明,對溫度變化和振動敏感,,并且復(fù)雜性和成本高,。Santec TMS-2000 解決了當(dāng)前解決方案中發(fā)現(xiàn)的所有問題。
特征:
精度高:使用干涉檢測技術(shù)進(jìn)行高精度測量(1nm重復(fù)精度)
行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)參數(shù):可以分析全局(GFLR,、GFLD,、GBIR)、站點(diǎn)(SFQR,、SFQD,、SBIR)、邊緣(ESFQR)
高耐環(huán)境性:由于環(huán)境耐久性,,不需要溫度控制或振動對策
緊湊的尺寸:小尺寸,,適合多種應(yīng)用
高速:螺旋掃描(高速、高密度)
優(yōu)勢:
晶圓厚度測量系統(tǒng),,可測量晶圓的平整度,重復(fù)精度高達(dá)1nm,。
測量準(zhǔn)確,,對溫度變化和振動不敏感
亞納米厚度重復(fù)性
具有可定制掃描圖案的完整晶圓映射
單面照明
晶圓與晶圓之間的比較
適用于重?fù)诫s硅以及功率半導(dǎo)體和多層晶圓
測量符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)
與傳統(tǒng)解決方案相比,具有成本優(yōu)勢





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