干式液氦溫區(qū)探針臺 LHe-6H-06特點(diǎn)

1、真空腔體：真空度優(yōu)于6×10-4 Pa,。降溫后優(yōu)于6×10-5 Pa,。留有2個用戶法蘭接口（KF40可接入氣體或者額外的電纜）；

2,、探針控制：標(biāo)配6個探針臂,。調(diào)節(jié)范圍110mm*50mm*30mm,，調(diào)節(jié)精度優(yōu)于10um。每個探針臂配一根Triax三同軸低漏電線纜及探針,。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜,；

3、顯微鏡模塊：連續(xù)變倍單筒顯微鏡,，光學(xué)放大倍率：0.5X~3. 75X（使用0. 75X附加物鏡時）,，視頻放大倍率約700倍?？蛇x2X附加物鏡,。分辨率優(yōu)于2um。全高清數(shù)字?jǐn)z像頭,，帶同軸照明和環(huán)形照明,，帶機(jī)械調(diào)焦和光學(xué)調(diào)焦；

4,、變溫樣品臺：直徑標(biāo)配50mm,，可選配150mm。變溫范圍：6K~400K,。控溫穩(wěn)定性優(yōu)于±0.01 K;

5,、可選配接入光纖,，可將一根或幾根電學(xué)探針替換為光纖；

6,、系統(tǒng)直流漏電低于1pA;

7,、干式液氦溫區(qū)探針臺 LHe-6H-06含進(jìn)口分子泵機(jī)組、全量程真空規(guī)和智能溫控儀,。