Film Sense 多波長(zhǎng)橢偏儀通過(guò)簡(jiǎn)單的 1 秒測(cè)量,，可以以的精度和精度測(cè)定大多數(shù)透明薄膜的薄膜厚度和折射率并對(duì)許多樣品進(jìn)行光學(xué)常數(shù) n&k 等薄膜性質(zhì)的測(cè)量,。多波長(zhǎng)薄膜厚度橢偏儀提供了強(qiáng)大的薄膜測(cè)量功能售價(jià)只是單一波長(zhǎng)橢偏儀和光譜橢偏儀的中等水平。Film Sense 偏儀非常適合在研究實(shí)驗(yàn)室教室,，現(xiàn)場(chǎng)處理室,，工業(yè)質(zhì)量控制等等。

主要特點(diǎn):

1,、多個(gè)LED 光源(4或6,，波長(zhǎng)280-950nm，視系統(tǒng)而定),。

2,、一體化設(shè)計(jì)，橢偏儀探測(cè)器中無(wú)可移動(dòng)部件,。

3,、具有良好的厚度精度,，對(duì)多個(gè)樣品的厚度優(yōu)于 0.001 nm(1 秒鐘，甚至對(duì)于亞單層膜的厚度也優(yōu)于0.001 nm,。

4,、可通過(guò)現(xiàn)代計(jì)算機(jī)，筆記本電腦或平板電腦 Web 瀏覽器界面直接訪訪問(wèn)軟件頁(yè)面,，用于儀器控制和數(shù)據(jù)分析,。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1、壽命長(zhǎng)(>50,000小時(shí)),，沒(méi)有耗時(shí)的對(duì)準(zhǔn)或PM程序

2,、快速測(cè)量時(shí)間(10ms內(nèi)的多波長(zhǎng)數(shù)據(jù))和長(zhǎng)期可靠性

3、只有橢偏儀才有的測(cè)量精度

4,、沒(méi)有復(fù)雜的軟件設(shè)置和維護(hù)

案例：

Film Sense 多波長(zhǎng)偏儀在測(cè)量透明單層薄膜的厚度和折射率方面表現(xiàn)出色,。上限厚度取決于薄膜厚度橢偏儀系統(tǒng)(通常為 2-5 微米)， 但也取決于基底和薄膜的光學(xué)常數(shù),。與任何偏儀系統(tǒng)一樣,， 為了獲得準(zhǔn)確的折射率測(cè)量結(jié)果，需要有最小薄膜厚度(通常為 10 納米),。

光吸收薄膜也可以被測(cè)量,，但數(shù)據(jù)分析變得更加復(fù)雜，因?yàn)樾枰∧さ墓鈱W(xué)常數(shù)(折射率 n 和消光系數(shù)K值),。Film Sense 軟件包含了多種確定n 和值的方法:1)多樣品分析,，2)聯(lián)合偏儀+透測(cè)量，和3)色散模型,。對(duì)于吸收薄膜,，上限厚度強(qiáng)烈依賴于材料的類型 ， 對(duì)于金屬薄膜,，上限通常為50納米,。

多波長(zhǎng)偏儀還可以用于測(cè)量多層膜堆疊 (在某些情況下可達(dá) 5層)，這取決于各層的厚度和折射率,?？梢栽?Film Sense 軟件中進(jìn)行模擬，以確定特定樣品結(jié)構(gòu)是否可行,。對(duì)于某些樣品,，還可以表征薄膜中的表面粗糙度和折射率梯度。

特點(diǎn)和規(guī)格

精確測(cè)量厚度范圍為0- 5um 的大多數(shù)透明薄膜

典型的厚度重復(fù)性: 0.015 nm

集成聚焦探頭,，標(biāo)準(zhǔn)光斑尺寸: 0.8x19 毫米(可提供其他光斑尺寸)

電動(dòng)Z型載物臺(tái)用于樣品自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)

靈活的掃描模式編輯器

測(cè)量參數(shù)的等高線圖和3D圖,。

具有6個(gè)波長(zhǎng)的橢圓測(cè)量數(shù)據(jù) (405、450,、525,、660,、850、950納米)采用長(zhǎng)壽命 LED 光源,，無(wú)移動(dòng)部件的探測(cè)器