型 號

DX-7B

DX-7BG

主要特點

設(shè)備構(gòu)造：設(shè)備分為落地式一體機,。

外型尺寸： 1132 （長）× 642 （寬）× 1200（高） mm。

樣式 1

樣式 2

樣式 3

功能

可測量晶棒的端面和柱面,， 也可以測 量晶片,。

帶有六方型刻度貼片板,， 可測量晶片端面

可測量晶片參考邊

被測晶 體尺寸

2-6 寸晶棒、 長度 L≤320mm,，

2-6 寸晶片,。

2-6 寸晶棒、長度 L≤100mm,，

2-6 寸晶片,。

2-6 寸晶片。

工作臺 圖片

配套

夾具

①V 型夾具（測量晶棒端面時使用）

②底板（測量有參考面的晶棒端面時 使用）

無需夾具

無需夾具

工作臺：以上是常見工作臺,，可根據(jù)客戶需要， 任選以上 2 種樣品臺進行組合,，也可以雙側(cè)一樣,，還可

以根據(jù)被測的晶體尺寸，及晶體被測方位來特殊設(shè)計,。

設(shè)備精度

設(shè)備綜合精度為±30″

（以供方提供的標(biāo)準(zhǔn)石英片 10ī1 面測量）

設(shè)備綜合精度為±15″

（以供方提供的標(biāo)準(zhǔn)石英片 10ī1 面測量）

最小讀數(shù)

10″

儀器配置

DX-7B 和 DX-7BG 型 X 射線單晶定向儀由機臺,、 管套及各種機械附件組成的機械部分； 由穩(wěn)壓器,、控制器,、 高壓變壓器、放大器,、計數(shù)器,、風(fēng)冷電機,、 X 射線管及各種指示儀表組成的電氣部分構(gòu)成。

技術(shù)指標(biāo)

（1） X 射線發(fā)生器部分：

X 射線管：銅靶,，風(fēng)扇冷卻,，陽極接地。

管電壓： 30KVP,，全壓合閘,。

管電流： 0—5mA 連續(xù)可調(diào)， 使用 2.0mA 以上,， 有可能損壞 X 光管并加大輻射危害,。

（2）輸入電源： 單相交流 220V，50Hz,，整機總耗電功率不大于 0.3 KW ,。

（3）角度測量范圍：

2 θ角：－ 10～+110° θ角:-5～+55°。

衍射方式

單衍射

雙衍射

放大系統(tǒng)

傳統(tǒng)放大器

新型放大器

接收系統(tǒng)

計數(shù)管計數(shù)率為 104/秒

計數(shù)管計數(shù)率為 108/秒

（是普通系列的 1 萬倍）

接收器壽命

1 年

3 年以上

X 光管壽命

按照國家標(biāo)準(zhǔn) 400 小時

（X 光管可以使用 3-4 個月）

是正常使用狀況下的 2-3 倍

（X 光管至少可以使用一年）

X 管電流強度

1-1.5mA

0.5-1.0mA

測量和使用效果

X 光管使用 2-3 個月有可能出現(xiàn)多個假峰,，影響 準(zhǔn)確度,。 需要經(jīng)常更換 X 光管，影響生產(chǎn)效率,。

可以濾掉 X 光管的雜峰,，不存在假峰現(xiàn)象。 X 光管可 以使用 1 年左右,，不需要頻繁調(diào)整機器,。

精度

精度±30 秒（或±0.008 度）

精度±15 秒（或±0.004 度）

輻射

測量時使用 mA 量越來越大，射線輻射量較大,。

測量時使用 mA 量小,，射線輻射量較小。