化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>工藝測(cè)量和檢測(cè)設(shè)備>光刻套刻測(cè)量設(shè)備>Cchip-0019 高深寬比紫外光刻機(jī)
Cchip-0019 高深寬比紫外光刻機(jī)
- 公司名稱 蘇州中芯啟恒科學(xué)儀器有限公司
- 品牌
- 型號(hào) Cchip-0019
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/1/31 13:31:03
- 訪問次數(shù) 131
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產(chǎn)品名稱:高深寬比紫外光刻機(jī)(曝光機(jī))
產(chǎn)品型號(hào):Cchip-0019
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高深寬比紫外光刻機(jī)簡介:
微流控芯片的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)一般深寬比較大,,針對(duì)微流控芯片這一特點(diǎn),,中芯啟恒自主研發(fā)生產(chǎn)了Cchip-0019適用于高深寬比工藝的光刻機(jī)。該設(shè)備采用目前LED光源,,紫外波長365nm,,光源純度高,輻射能量均一可調(diào),。設(shè)備配有智能化觸摸屏操作面板,,外觀比較傳統(tǒng)光刻機(jī)體積更小,集成化度更高,,不僅簡化了操作流程,,還進(jìn)一步提高了工藝效率。
不僅如此,,我們還對(duì)曝光系統(tǒng)進(jìn)行了優(yōu)化,,將曝光過程中衍射誤差降到極限,保證圖案設(shè)計(jì)值與實(shí)際值一致,,從而為芯片制作保駕護(hù)航,。
以下是客戶實(shí)測(cè)圖片,結(jié)構(gòu)高度92um,,間距20um,,請(qǐng)參考!
中芯啟恒提供一站式微流控解決方案:
(1)PDMS/玻璃/PMMA等各種材質(zhì)微流控芯片加工設(shè)備,、耗材,、試劑、配件等服務(wù),。
(2)提供微流控芯片光刻實(shí)驗(yàn)室,、微流控芯片軟注塑實(shí)驗(yàn)室、微流控芯片封合實(shí)驗(yàn)室,、微流控實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)平臺(tái)組建服務(wù),。
(3)公司提供微流控芯片加工技術(shù)培訓(xùn)和微流控芯片使用技術(shù)培訓(xùn)。