3軸加速度在線振動傳感器

3軸加速度在線振動傳感器

3軸加速度傳感器引線型

半導體晶片生產(chǎn)中使用的多關節(jié)機器人的振動監(jiān)視開發(fā)·面向品質管理的事例介紹

生產(chǎn)半導體晶片時,，必須使用多關節(jié)機器人進行生產(chǎn),。

在這種情況下,，機器人搬運時給產(chǎn)品帶來的異常沖擊會導致產(chǎn)品質量劣化，因此是一個很大的課題,。

因此,，本公司產(chǎn)品的“3軸加速度傳感器MA3系列”可以檢測到發(fā)生了異常的沖擊，因此有組裝到機器人中使用的例子,。

“3軸加速度傳感器MA3系列”通過模擬電壓的變化輸出X,、Y、Z方向的加速度,。輸出可導入PLC,，設置閾值進行判定。

根據(jù)判定結果通知異常,，根據(jù)情況也可以停止設備,。

“3軸加速度傳感器MA3系列”有通用型和高頻型兩種，可以根據(jù)產(chǎn)生的加速度的頻帶選擇,。

另外,，根據(jù)發(fā)生的加速度的大小，也可以選擇測量范圍,。

設備狀態(tài)監(jiān)測的最佳一臺建議,！

支持高G、高頻的3軸加速度傳感器

不需要內置放大器工程,，連接也很簡單,。

國內生產(chǎn)、高品質,、公司內部校正品質支持體制完備,。

沖壓機發(fā)生異常時自動停止，防止模具破損和成品率下降

拾音器的對應幅度很豐富,。沖壓機的高G高頻的沖擊也能測量,。

不僅是加工裝置的異常發(fā)生，還進行原因的確定，提高成品率,、生產(chǎn)效率

通過對加速度的測量數(shù)據(jù)進行頻率分析等,，確定發(fā)生異常預兆的部件。

將切削加工裝置與其他公司制造的PLC（序列發(fā)生器）連接,，也可以進行導入成本低的異常監(jiān)視

因為是內置放大器,，所以只需直接連接已經(jīng)導入的PLC就可以測量。

※1 弊社モーションレコーダーシリーズに接続した場合,、こちらの検出範囲になります,。