3軸加速度在線振動(dòng)傳感器

3軸加速度在線振動(dòng)傳感器

3軸加速度傳感器引線型

半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)中使用的多關(guān)節(jié)機(jī)器人的振動(dòng)監(jiān)視開發(fā)·面向品質(zhì)管理的事例介紹

生產(chǎn)半導(dǎo)體晶片時(shí),，必須使用多關(guān)節(jié)機(jī)器人進(jìn)行生產(chǎn)。

在這種情況下,，機(jī)器人搬運(yùn)時(shí)給產(chǎn)品帶來的異常沖擊會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量劣化,，因此是一個(gè)很大的課題。

因此,，本公司產(chǎn)品的“3軸加速度傳感器MA3系列”可以檢測到發(fā)生了異常的沖擊,，因此有組裝到機(jī)器人中使用的例子。

“3軸加速度傳感器MA3系列”通過模擬電壓的變化輸出X,、Y,、Z方向的加速度。輸出可導(dǎo)入PLC,，設(shè)置閾值進(jìn)行判定,。

根據(jù)判定結(jié)果通知異常,，根據(jù)情況也可以停止設(shè)備。

“3軸加速度傳感器MA3系列”有通用型和高頻型兩種,，可以根據(jù)產(chǎn)生的加速度的頻帶選擇。

另外,，根據(jù)發(fā)生的加速度的大小,，也可以選擇測量范圍。

設(shè)備狀態(tài)監(jiān)測的最佳一臺(tái)建議,！

支持高G,、高頻的3軸加速度傳感器

不需要內(nèi)置放大器工程，連接也很簡單,。

國內(nèi)生產(chǎn),、高品質(zhì)、公司內(nèi)部校正品質(zhì)支持體制完備,。

沖壓機(jī)發(fā)生異常時(shí)自動(dòng)停止,，防止模具破損和成品率下降

拾音器的對(duì)應(yīng)幅度很豐富。沖壓機(jī)的高G高頻的沖擊也能測量,。

不僅是加工裝置的異常發(fā)生,，還進(jìn)行原因的確定，提高成品率,、生產(chǎn)效率

通過對(duì)加速度的測量數(shù)據(jù)進(jìn)行頻率分析等,，確定發(fā)生異常預(yù)兆的部件。

將切削加工裝置與其他公司制造的PLC（序列發(fā)生器）連接,，也可以進(jìn)行導(dǎo)入成本低的異常監(jiān)視

因?yàn)槭莾?nèi)置放大器,，所以只需直接連接已經(jīng)導(dǎo)入的PLC就可以測量。

※1 弊社モーションレコーダーシリーズに接続した場合,、こちらの検出範(fàn)囲になります,。

※2 ±3dBにて規(guī)定

1