M 系列 在線數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品介紹：

M 系列 在線數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)

采用專有的內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),，使得大 流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)，充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流 量與質(zhì)量流量間的差異,，并對(duì)用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正,。所有 Alicat 質(zhì)量流 量計(jì)均具有 NIST 可溯源校準(zhǔn)證書。 

M 系列質(zhì)量流量計(jì)內(nèi)部無可移動(dòng)組件和熱元件,，通過抗振動(dòng)測試,，對(duì)安裝 方向不敏感。

M 系列質(zhì)量流量計(jì)帶有集成式多功能數(shù)字顯示屏,， 用戶可通多顯示屏按鈕操作在內(nèi)置 98 種標(biāo)準(zhǔn)氣 體中進(jìn)行任意切換,，同時(shí)開放模擬通訊和 RS-232 數(shù)字通訊模式。我們?yōu)橛脩籼峁V泛的定制化服務(wù)以滿 足各類特殊的項(xiàng)目需要,，如：用于危險(xiǎn)環(huán)境的 ATEX(歐洲) 1 類 2 區(qū)和 CSA(美國)1 類 2 區(qū)認(rèn)證產(chǎn)品等,。 另有耐腐蝕系列(MS 系列)、低壓損系列(MW 系列)和便攜式系列(MB 系列)質(zhì)量流量計(jì)可選,。

如：科學(xué)研究,、泄漏測試、環(huán)境監(jiān)測,、真空 鍍膜,、半導(dǎo)體,、汽車制造、光伏,、燃料電池,、光纖制造、計(jì)量以及過程工藝氣體測量等,。多變量測量,、 多種氣體標(biāo)定以及 200:1 量程可調(diào)比使得僅用一臺(tái) Alicat 質(zhì)量流量計(jì)便可取代多臺(tái)設(shè)備發(fā)揮的功效。很高 可達(dá) 0.4%的精度,、0.2%重復(fù)性及不到 10 毫秒的測量響應(yīng)速度很大程度優(yōu)化了氣體測量過程,。 

M 系列質(zhì)量流量計(jì)可測量從 0-0.5 SCCM 到 0-4000SLPM 的滿量程的任何流量。

技術(shù)參數(shù)：

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

滿量程范圍：所有氣體為 0.5 SCCM 至 5,000 SLPM（H2 為 10,000 SLPM）

測量范圍：滿量程的0.01% – 100%

精度：讀數(shù)的 ±0.6% 或滿量程的 ±0.1%,，以較大者為準(zhǔn)

可選高精度：讀數(shù)的 ±0.5% 或滿量程的 ±0.1%,，以較大者為準(zhǔn)

重復(fù)性：讀數(shù)的 0.1% 和滿量程的 0.02%

響應(yīng)時(shí)間：<10毫秒

工作溫度： –10°C 至 +60°C

滿量程工作壓力： 160 PSIA (11 barA)