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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>測量/計量儀器>長度計量儀器>激光干涉儀>RLD10 DI Renishaw雷尼紹差分干涉儀

RLD10 DI Renishaw雷尼紹差分干涉儀

參考價10000-50000/件
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

RLD10 DIRenishaw雷尼紹

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產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 1-5萬
應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池,道路/軌道/船舶,鋼鐵/金屬,電氣

Renishaw雷尼紹差分干涉儀RLD10 DI概述:

差分干涉儀允許測量相對于定義參考對象的位置變化,。

差分發(fā)射頭具有光學(xué)設(shè)計,,可實現(xiàn)極低的SDE性能。內(nèi)置的激光準(zhǔn)直輔助鏡可在設(shè)定過程中實現(xiàn)俯仰和扭擺角度調(diào)整,,從而改進準(zhǔn)直過程(僅適合平面鏡應(yīng)用),。

RLD10-X3-DI發(fā)射頭可通過一個簡單的三針固定架安裝在工作腔的外墻上。無需進入工作腔即可校正光路,,內(nèi)置激光準(zhǔn)直輔助鏡可對參考和測量光束的俯仰和扭擺進行獨立的調(diào)整,,安裝系統(tǒng)的設(shè)計允許拆卸發(fā)射頭和調(diào)整發(fā)射頭位置,對系統(tǒng)準(zhǔn)直的影響極小,。

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特性與優(yōu)點:

測量性能-ppb穩(wěn)頻精度,,超低周期誤差,輸出分辨率達(dá)到38.6pm,。

差分配置-測量運動平臺相對于安裝立柱的位移,,從而消除常見模式誤差,例如與環(huán)境波動有關(guān)的工作區(qū)側(cè)壁移動,。

快速調(diào)節(jié)準(zhǔn)直-采用四個內(nèi)置激光準(zhǔn)直輔助鏡,,很簡單地在真空室外部進行準(zhǔn)直調(diào)整,從而消除真空室和鏡組安裝公差,。

通常使用雷尼紹RLU20來配置差分干涉儀發(fā)射頭,。RLU20激光源的高穩(wěn)定性結(jié)合差分干涉儀發(fā)射頭的高性能,必將成為真空室和其他空調(diào)嚴(yán)格控制環(huán)境中的應(yīng)用的理想選擇,。

Renishaw雷尼紹差分干涉儀規(guī)格:

軸行程

0m-1m

分辨率(使用RLU配置)

模擬正交=λ/4 (158nm)
數(shù)字正交=10nm
RPI20分辨率=38.6pm

系統(tǒng)非線性誤差* (SDE)

*不含接口

低于50mm/s且信號強度>70%時<±1nm
1m/s且信號強度>50%時<±6nm

最高速度

最高可達(dá)1m/s








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