RLD10 DI Renishaw雷尼紹差分干涉儀
| 參考價 | ￥10000-￥50000/件 |
- 公司名稱 入江貿(mào)易（東莞）有限公司
- 品牌RENISHAW/英國雷尼紹
- 型號RLD10 DI
- 所在地東莞市
- 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
- 更新時間2024/12/6 20:48:44
- 訪問次數(shù) 987
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價格區(qū)間 | 1-5萬 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,交通,冶金,電氣 |
Renishaw雷尼紹差分干涉儀RLD10 DI概述：
差分干涉儀允許測量相對于定義參考對象的位置變化。
差分發(fā)射頭具有光學(xué)設(shè)計(jì),，可實(shí)現(xiàn)極低的SDE性能,。內(nèi)置的激光準(zhǔn)直輔助鏡可在設(shè)定過程中實(shí)現(xiàn)俯仰和扭擺角度調(diào)整，從而改進(jìn)準(zhǔn)直過程（僅適合平面鏡應(yīng)用）,。
RLD10-X3-DI發(fā)射頭可通過一個簡單的三針固定架安裝在工作腔的外墻上,。無需進(jìn)入工作腔即可校正光路，內(nèi)置激光準(zhǔn)直輔助鏡可對參考和測量光束的俯仰和扭擺進(jìn)行獨(dú)立的調(diào)整,，安裝系統(tǒng)的設(shè)計(jì)允許拆卸發(fā)射頭和調(diào)整發(fā)射頭位置,，對系統(tǒng)準(zhǔn)直的影響極小。
特性與優(yōu)點(diǎn)：
測量性能-ppb穩(wěn)頻精度,，超低周期誤差,，輸出分辨率達(dá)到38.6pm。
差分配置-測量運(yùn)動平臺相對于安裝立柱的位移,，從而消除常見模式誤差,，例如與環(huán)境波動有關(guān)的工作區(qū)側(cè)壁移動。
快速調(diào)節(jié)準(zhǔn)直-采用四個內(nèi)置激光準(zhǔn)直輔助鏡,，很簡單地在真空室外部進(jìn)行準(zhǔn)直調(diào)整,，從而消除真空室和鏡組安裝公差。
通常使用雷尼紹RLU20來配置差分干涉儀發(fā)射頭,。RLU20激光源的高穩(wěn)定性結(jié)合差分干涉儀發(fā)射頭的高性能,，必將成為真空室和其他空調(diào)嚴(yán)格控制環(huán)境中的應(yīng)用的理想選擇。
Renishaw雷尼紹差分干涉儀規(guī)格：
軸行程 | 0m-1m |
分辨率（使用RLU配置） | 模擬正交=λ/4 (158nm) |
系統(tǒng)非線性誤差* (SDE) *不含接口 | 低于50mm/s且信號強(qiáng)度>70%時<±1nm |
最高速度 | 最高可達(dá)1m/s |
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