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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>測量/計量儀器>長度計量儀器>激光干涉儀>RLD10 Renishaw雷尼紹平面鏡干涉儀

RLD10 Renishaw雷尼紹平面鏡干涉儀

參考價50000-100000/件
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

RLD10Renishaw面鏡干涉儀

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產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 5萬-10萬
應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池,道路/軌道/船舶,汽車及零部件,電氣

Renishaw雷尼紹平面鏡干涉儀RLD10

RLD10發(fā)射頭內(nèi)含有干涉鏡組,、多通道條紋檢測系統(tǒng),、激光光閘和內(nèi)置的激光準(zhǔn)直輔助鏡。提供0°和90°兩種RLD10發(fā)射頭型號,。

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特性與優(yōu)點

雙軸解決方案 — 雙軸平面鏡系統(tǒng)是XY平臺應(yīng)用的理想解決方案,。

高分辨率 — 與角錐反射鏡系統(tǒng)相比,平面鏡系統(tǒng)還可用于要求更高分辨率的應(yīng)用,。

敏感環(huán)境 — 還提供低功率型號的平面鏡干涉儀發(fā)射頭,。適合其功耗要求低于標(biāo)準(zhǔn)RLD額定值(即 < 2 W)的應(yīng)用。

規(guī)格

軸行程0 m至1 m
分辨率(使用RLU配置)

模擬正交 = λ/4 (158 nm)
數(shù)字正交 = 10 nm
RPI20分辨率 = 38.6 pm

系統(tǒng)非線性誤差* (SDE)

*不含接口

低于50 mm/s且信號強度 > 70%時 <±2.5 nm
1 m/s且信號強度 > 50%時 <±7.5 nm
最高速度可達1 m/s










對于非真空應(yīng)用,,為了維持變動環(huán)境條件下的精度,,需要某種形式的折射率補償。雷尼紹提供RCU10實時正交補償系統(tǒng),,用于對環(huán)境變化進行補償,。

若選用RPI20并行接口并集成到RLE系統(tǒng)中,可達到38.6皮米的分辨率,。該接口可接收差分模擬1 Vpp正弦/余弦信號,,并提供并行輸出格式。

Renishaw雷尼紹平面鏡干涉儀RLD10



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