型號(hào)PICO的德國(guó)Diener等離子清洗機(jī)可以組合成不同的派生型,，例如組合成模塊系統(tǒng),。下面是能夠與 Pico 等離子系統(tǒng)組合使用的最常見(jiàn)選裝件的概覽。型號(hào)PICO的德國(guó)Diener等離子清洗機(jī)主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域：

分析 (REM, TEM),，考古,，汽車(chē)，研究和開(kāi)發(fā)部門(mén),，半導(dǎo)體技術(shù),，小批量生產(chǎn)，塑料技術(shù),，醫(yī)療技術(shù),，微系統(tǒng)技術(shù)，傳感技術(shù),，滅菌,，紡織技術(shù)

1.基本裝備：

   根據(jù)組件/選裝件，外殼規(guī)格會(huì)有所不同

   腔室容積：根據(jù)具體版本 4 - 15 升

供電電源：臺(tái)式設(shè)備為 230 V,，立式設(shè)備為 400 V/3 相位

2.氣體供給：針型閥,，質(zhì)量流量控制器 (MFC)

3.真空腔室：

   圓形不銹鋼，帶蓋（約 ∅ 150 mm,，長(zhǎng) 320 mm 或長(zhǎng) 600 mm）或

   矩形不銹鋼,，帶鉸鏈的門(mén)（約寬 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或 600 mm）

   矩形鋁材，帶鉸鏈的門(mén)（約 ∅ 160 mm x 160 mm,，長(zhǎng) 325 mm 或長(zhǎng) 600 mm）

   圓形石英玻璃 (UHP),，配有蓋子或者帶鉸鏈的門(mén)（約直徑130 mm，長(zhǎng) 300mm或600 mm）

圓形硼硅玻璃 (UHP),，配有蓋子或者帶鉸鏈的門(mén)（約直徑130 mm,，長(zhǎng) 300 mm或600 mm）

4.裝載件

產(chǎn)品支架（選項(xiàng)：水冷型）、石英玻璃舟皿,、粉末轉(zhuǎn)鼓,、散裝件轉(zhuǎn)鼓、鋁板,、不銹鋼板,、硼硅玻璃、石英玻璃

5.電極：單層或多層，RIE

6.控制系統(tǒng)

   半自動(dòng)型

   Basic PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows CE)

Full PC 控制系統(tǒng) (Windows 10 IoT)

7.壓力測(cè)量：Pirani,，電容式壓力計(jì)（適用于腐蝕性氣體版本）

8.計(jì)時(shí)器：數(shù)字

9.發(fā)生器

頻率：    

40 kHz：功率 0 - 200 W,；0 -1000 W

100 kHz：功率 500 W

80 kHz：功率 1000 W

13.56 MHz：功率  0 - 100 W；0 - 300 W

2.45 GHz：功率 0 - 300 W

所有發(fā)生器均為 0 - 100% 無(wú)級(jí)可調(diào)型

10.真空泵

不同規(guī)格,，來(lái)自不同制造商（根據(jù)需要配備活性炭過(guò)濾器）

11.其他選項(xiàng)

備件套件,、壓力計(jì)、腐蝕性氣體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu),、氣瓶,、減壓器、加熱板,、溫度顯示器,、加熱型腔室、法拉利籠,、等離子體聚合配件,、測(cè)試墨水、氧氣發(fā)生器,、慢速通風(fēng)裝置,、慢速抽吸裝置、TEM 樣品架法蘭,、維護(hù)/服務(wù),、當(dāng)?shù)卣Z(yǔ)言的文件、現(xiàn)場(chǎng)安裝,，包括培訓(xùn),。可應(yīng)要求提供的其他選項(xiàng)