化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>光學(xué)儀器及設(shè)備>光學(xué)測量儀>其它光學(xué)測量儀>RTM 2 半導(dǎo)體參數(shù)分析儀對標(biāo)Keithley 4200A-SCS

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RTM 2 半導(dǎo)體參數(shù)分析儀對標(biāo)Keithley 4200A-SCS

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公司名稱 上海屹持光電技術(shù)有限公司
品牌其他品牌
型號RTM 2
所在地上海市
廠商性質(zhì)代理商
更新時(shí)間2025/3/13 9:36:17
訪問次數(shù) 1109

產(chǎn)品標(biāo)簽

半導(dǎo)體參數(shù)分析儀 4200A-SCS Keithley

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公司介紹 主營產(chǎn)品

上海屹持光電技術(shù)有限公司致力于光電事業(yè)的發(fā)展,，專業(yè)從事光學(xué)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備研究、開發(fā),、制造及銷售,，憑借公司強(qiáng)大的技術(shù)力量和經(jīng)濟(jì)實(shí)力，不斷開發(fā)出具有優(yōu)良技術(shù)水平的新產(chǎn)品,。

　　公司本著技術(shù)優(yōu)良,、質(zhì)量*、客戶*的原則為廣大用戶提供滿意的服務(wù),。

展開

太赫茲,，超快，激光器及調(diào)制測量設(shè)備

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

產(chǎn)地類別	進(jìn)口	應(yīng)用領(lǐng)域	化工,電子/電池,電氣,綜合

半導(dǎo)體參數(shù)分析儀 ,，對標(biāo)Keithley 4200A-SCS

Tensormeter專為自動(dòng)精密測量電阻和電壓而設(shè)計(jì),。Tensormeter設(shè)備的特點(diǎn)是其基于集成矩陣開關(guān)的創(chuàng)新靈活架構(gòu)。該開關(guān)矩陣使得測量不僅限于傳統(tǒng)的四線阻抗測量,，還包括張量測量,、范德堡測量等，并且使設(shè)備能夠補(bǔ)償自身的漂移,、偏移和噪聲,，從而實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的穩(wěn)定性,。Tensormeter RTM2能夠使用單一設(shè)備實(shí)現(xiàn)電阻張量（縱向和橫向電阻）的自動(dòng)記錄，甚至可以在未加模式的薄膜上進(jìn)行,。它結(jié)合了鎖相放大器和源/測量單元的優(yōu)點(diǎn),，并具有出色的交流和直流性能。其測量范圍涵蓋從納歐姆到太赫茲,，至少有8位數(shù)字的動(dòng)態(tài)范圍,。

應(yīng)用領(lǐng)域：
材料研究與表征：固體物理學(xué)；半導(dǎo)體物理學(xué),；磁學(xué),；柔性電子學(xué)；自旋電子學(xué),；新型功能電子材料和器件
工業(yè)研發(fā)和晶圓/器件測試：微電子器件,；存儲器件；晶體管,、二極管,；LED/OLED；太陽能電池,；顯示器,、TCO（導(dǎo)電氧化物透明電極）；傳感器
優(yōu)勢:

取代了所有用于電性特性測量的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備（例如鎖相放大器,、源/測量單元,、數(shù)字萬用表）。
通過集成的矩陣開關(guān)克服了固定4點(diǎn)測量的局限性,。
提供van-der-Pauw和電阻張量測量的預(yù)設(shè),，并允許用戶進(jìn)行配置。
不需要復(fù)雜的樣品制備（例如光刻結(jié)構(gòu)）,。
允許輕松連接到許多不同的測量設(shè)置（例如探針站,、低溫系統(tǒng)、真空系統(tǒng)）,。
節(jié)省測量時(shí)間并提高樣品通過量,。

特點(diǎn):

基于集成切換矩陣的可重新配置設(shè)備架構(gòu)。 8個(gè)用戶定義通道（BNC連接器）,，其功能（輸入或輸出）可以自由確定。
使用固定連接進(jìn)行傳統(tǒng)的交流和直流四線測量（Kelvin/霍爾幾何）,。
使用一個(gè)設(shè)備進(jìn)行交替連接的交流和直流測量（van-der-Pauw幾何）,。
在無需光刻圖案的情況下同時(shí)測量縱向和橫向電阻的精確分離絕對值。
常見測量模式的軟件預(yù)設(shè),，但可以切換到用戶需要的任意序列,。
基于TCP的通信,，易于在任何環(huán)境中集成（例如LabVIEW、C,、Python）,。

控制軟件用戶界面：

典型測量示例:

半導(dǎo)體參數(shù)分析儀在標(biāo)準(zhǔn)幾何形狀（Kelvin和Hall布局）中進(jìn)行超低噪聲和高穩(wěn)定性的交流和直流四線測量。
在不規(guī)則,、非結(jié)構(gòu)化的薄膜樣品上進(jìn)行Van-der-Pauw切換連接的四線測量,。
零偏Hall四線測量（即使在非結(jié)構(gòu)化樣品上也能精確分離縱向和橫向電阻）。
亞百萬分之一相對電阻變化的測量,。
比率電阻測量,，以消除樣品和器件漂移。

高驅(qū)動(dòng)諧波失真測量,，脈沖和測量例行程序,。

低電阻傳感器和樣品：電阻傳感器的差分輸入噪聲頻譜。超低寬帶和1/f噪聲的交流測量可精確表征和操作傳感器,。

零偏Hall：消除漂移和寄生效應(yīng) 薄膜樣品上Hall測量的差分輸入噪聲頻譜,。Tensormeter的零偏Hall預(yù)設(shè)消除了熱漂移，允許長時(shí)間積分,，并且相比于常規(guī)的4線Hall測量,，靈敏度提高了數(shù)個(gè)數(shù)量級。

自旋電子學(xué)：在反鐵磁樣品熱穩(wěn)定期間磁序的喪失在Hall電阻中監(jiān)測,。Tensormeter的零偏Hall預(yù)設(shè)（頂部）清晰顯示了信號的喪失,。相反，在相同樣品的常規(guī)4線Hall測量中,，寄生信號的貢獻(xiàn)掩蓋了有用的磁化信號（底部）,。

技術(shù)參數(shù)：

電氣規(guī)格

模擬輸出
對稱輸出	DC to 60 kHz, ±20 V, ±200 mA
輸出噪聲底限	< -150 dBFS
積分非線性誤差	5 ppm
時(shí)間分辨率	2µs脈沖和任意波形模式

開關(guān)矩陣
矩陣大小	8接口x 4模擬功能
最大開關(guān)頻率	1 kHz
開關(guān)電阻	2.5 ?, SNS: 5.0 ?
浮動(dòng)列阻抗	0.5 T? \|\| 5 pF

測量
BJT輸入（SNS+和SNS-的復(fù)合）	1.5 nV/√Hz, 2500 fA/√Hz
FET輸入噪聲（SNS+和SNS-的復(fù)合）	8 nV/√Hz, 2 fA/√Hz
FET輸入負(fù)載	<1 pA, 0.1 pA/V, 8 pF
電阻測量噪聲底線	10 nΩ/√Hz（直接BJT輸入）
電阻測量噪聲底線	<1 nΩ/√Hz（變壓器耦合的FET輸入）
增益變化	100 ppm/K
	<1 ppm/K（比例模式）
	1 ppb（在有熱穩(wěn)定參考的比例模式）
直流偏置電壓變化	±1 μV/K, ±3 ppm/K
直流偏置電壓變化	<0.1 ppm/K (差分模式)

范圍
串聯(lián)電阻	4, from 100 ? to 20 M?
輸出電壓測量	4, log, from 20 V to 2 V
輸入電壓測量	8, log, from 20 V to 100 mV
電流測量	4 per resistor, log, from 200 mA to 100 nA
在范圍內(nèi)的基本精度	<1 ppm滿量程，用于輸出電壓和電流
在范圍內(nèi)的基本精度	<0.1 ppm滿量程,，用于輸入電壓
在一個(gè)范圍內(nèi)的連續(xù)動(dòng)態(tài)范圍	> 8 digits

相位和頻率同步
輸出端口	任何一個(gè)前端BNC端口
輸入端口	固定:任何前端的BNC
輸入端口	動(dòng)態(tài):跟隨任何模擬函數(shù)
同步范圍	2 Hz到50 kHz,，任意相移
波形類型	輸出：正弦波
波形類型	輸入：任意信號(鎖定到主導(dǎo)頻率)

數(shù)字I/O端口
信號電平	單端3.3V CMOS邏輯，正極觸發(fā)
帶寬	10 MHz
輸入函數(shù)	HI/LO,，觸發(fā)(解調(diào)或脈沖產(chǎn)生),，pwm -模擬計(jì)數(shù)器，聯(lián)鎖
輸出函數(shù)	HI/LO,，同步脈沖(開始解調(diào)或脈沖產(chǎn)生),，模擬- pwm輸出，限位指示
時(shí)間延遲	< 100 ns(到數(shù)字I/O功能)
時(shí)間延遲	< 50 µs(模擬I/O功能)
輸出脈沖形狀	100µs HI脈沖,，否則為LO

硬件/安裝

大小	19英寸機(jī)架安裝設(shè)備,，2個(gè)高度單位，32厘米深度
功率需求	<75 W,，通用AC單相AC輸入,，C14連接器
操作范圍	0°C - 50°C,，無冷凝濕度
前端連接器	BNC, 50 Ω型，防護(hù)罩可切換為防護(hù)罩或底盤
后端連接器	BNC, 50 Ω型,，屏蔽連接到機(jī)箱
通訊端口	以太網(wǎng)
制冷	增壓氣流從前到后
前端LED指示燈	操作,，通道選擇，都是可調(diào)的和可分離的

產(chǎn)品示意圖：

設(shè)備前面板包括：1. 8個(gè)BNC端口,，用于多個(gè)模擬功能：驅(qū)動(dòng),、感測、參考相位鎖定,。2. LED指示燈,，用于指示端口功能：輸入（白色箭頭）或輸出（藍(lán)色箭頭）。3. 冷卻風(fēng)流入口（請勿阻擋）,。4. 便于攜帶和機(jī)架安裝的把手,。5. 19英寸機(jī)架安裝孔。

設(shè)備后面板包括：6. 2個(gè)BNC端口,，用于多個(gè)數(shù)字功能：觸發(fā),、閾值檢查、PWM,。7. 以太網(wǎng)連接器,，用于主要的TCP通信。8. 帶保險(xiǎn)絲和開關(guān)的主電源插口,。9. 設(shè)備信息顯示,。10. 冷卻風(fēng)流出口（請勿阻擋）。

貨物清單：

Tensormeter RTM2 19英寸機(jī)架安裝設(shè)備
軟件包,，包括LabVIEW和Python的客戶端代碼示例（無需驅(qū)動(dòng)程序）
Tensormeter RTM2用戶指南,，包括TCP命令、操作參數(shù)指南
帶F型連接器的主電源電纜（根據(jù)需要提供其他類型）
以太網(wǎng)電纜