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FR-Ultra 晶圓厚度測量系統(tǒng)

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薄膜厚度測量儀

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岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司(Dymek Company Ltd ,,下面簡稱岱美)成立于1989年,,是一間擁有多年經(jīng)驗的高科技設(shè)備分銷商,主要為數(shù)據(jù)存儲,、半導(dǎo)體,、光通訊、高校及研發(fā)中心提供各類測量設(shè)備,、工序設(shè)備以及相應(yīng)的技術(shù)支持,,并與一些重要的客戶建立了長期合作的關(guān)系。自1989年創(chuàng)立至今,,岱美的產(chǎn)品以及各類服務(wù),、解決方案廣泛地運用于中國香港,中國大陸(上海,、東莞,、北京),中國臺灣,,泰國,,菲律賓,馬來西亞,,越南及新加坡等地區(qū),。


岱美在中國大陸地區(qū)主要銷售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品:

晶圓鍵合機、納米壓印設(shè)備,、紫外光刻機,、涂膠顯影機、硅片清洗機,、超薄晶圓處理設(shè)備,、光學(xué)三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測,、非接觸式光學(xué)三坐標(biāo)測量儀,、薄膜厚度檢測儀、主動及被動式防震臺系統(tǒng),、應(yīng)力檢測儀,、電容式位移傳感器、定心儀等,。


岱美重要合作伙伴包括有:

Thetametrisis, EVG, FSM, Opto-Alignment, Herz, PLSINTEC, Film Sense, Reditech, Lazin, Delcom, Microsense, Shb, boffotto, RTEC, Kosaka, Nanotronics, MTInc, 4D, Daeil, Microphysics,

n&k Technology, First Nano, Schmitt, LESCO, Otsuka, STI, Kurashiki, Ryokosha, SURAGUS, Westbond...


如有需要,,請聯(lián)系我們,了解我們?nèi)绾伍_始與您之間的合作,實現(xiàn)您的企業(yè)或者組織機構(gòu)長期發(fā)展的目標(biāo),。




膜厚儀,,輪廓儀,EVG鍵合機,,EVG光刻機,,HERZ隔震臺,Microsense電容式位移傳感器


FR-Ultra: 晶圓厚度測量系統(tǒng)


FR-Ultra是一種緊湊型設(shè)備,,專門用于快速,、準(zhǔn)確和無損測量半導(dǎo)體材料的厚/超厚層及透明層。

FR-Ultra是用于精確測量由半導(dǎo)體和(或)介電材料制成的厚層和超厚層的專用工具,。由于其先進(jìn)的光學(xué)性能,,FR-Ultra可用于測量不同平滑度的薄膜和非常厚的襯底。


典型應(yīng)用包括:

厚玻璃的厚度測量(在清晰度不同的情況下最大厚度可達(dá)2mm),; 晶圓片的厚度測量(如單面或雙面拋光晶圓,,最大直徑可達(dá)12 英寸)。

FR-Ultra可以很容易地與笛卡爾坐標(biāo)系和極坐標(biāo)結(jié)合,,用于大面積的厚度測量,。

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硅片厚度圖(12英寸硅片)

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測量原理

白光反射光譜(WLRS)測量在一定光譜范圍內(nèi)從單或多層薄膜堆疊結(jié)構(gòu)的 反射光,其中入射光垂直于樣品表面,。藉由測量各個界面干涉產(chǎn)生的反射光 譜來計算單層/疊層薄膜的厚度、光學(xué)常數(shù)(n 和k)等,。並支持透明或部分反射基材等,。


*規(guī)格如有更改,恕不另行通知;

**100μm DSP硅片的測量值對應(yīng)于測量厚度值在精度范圍內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)(0.4%),;

***500μm DSP硅片的測量值對應(yīng)于測量厚度值在精度范圍內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn)(0.4%)










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