HTR-01 桌式4英寸快速退火爐

HTR-01A快速退火爐系列采用紅外輻射加熱技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)1-10片樣品同時(shí)進(jìn)行,，可實(shí)現(xiàn)4寸晶圓片吋樣品快速升溫和降溫,，同時(shí)搭配超高精度溫度控制系統(tǒng)，可達(dá)到的溫場(chǎng)均勻性,，對(duì)材料的快速熱處理(RTP),、快速退火(RTA)、快速熱氮化(RTN),、快速熱氧化(RTO)及金屬合金化等研究和生產(chǎn)起到重要作用,。

主要應(yīng)用領(lǐng)域：

快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA),，快速熱氧化(RTO),，快速熱氮化(RTN);離子注入/接觸退火;

金屬合金;

熱氧化處理;

化合物合金(砷化家、氮化物等);多晶硅退火;

太陽(yáng)能電池片退火;高溫退火;

高溫?cái)U(kuò)散,。

產(chǎn)品特點(diǎn)

● 快速加熱和降溫: 最高可控升溫速率可達(dá)50 ℃/s,，特定條件下可以達(dá)到100 ℃/s。冷壁水冷設(shè)計(jì)能夠達(dá)到較大的降溫速率,，特定條件下可達(dá)30 ℃/s,。

● 精確控溫: 采用工業(yè)級(jí)溫控器進(jìn)行PID精確控溫，目標(biāo)溫度與設(shè)定溫度曲線一致性高,，可實(shí)現(xiàn)室溫至1200 ℃的溫度精確控制。

● 適應(yīng)多種工藝環(huán)境: 滿足多種工藝氣氛下的熱處理（氮?dú)?、氬氣等）,。同時(shí)，通過選配真空泵,，可以在真空條件下進(jìn)行退火,，最高真空度可達(dá)10^-5Pa。

● 配備觀察窗口: 通過觀察窗口,，可以實(shí)時(shí)觀察熱處理過程中的樣品變化,。同時(shí),，可以結(jié)合相關(guān)測(cè)試方法進(jìn)行原位測(cè)試分析。

● 超高安全系數(shù): 采用爐壁超溫報(bào)警系統(tǒng)和冷卻水流量報(bào)警系統(tǒng),，保障儀器使用安全,。

● 售后服務(wù)：，能快速反應(yīng)客戶售后需求,。