溫度范圍 | -55~200/300°C | 分辨率 | <2μm |
---|---|---|---|
真空盤可調(diào)節(jié)高度 | ±5mm | 臺面精度 | 平面度:<10?μm |
X200M高低溫手動屏蔽探針臺擁有穩(wěn)定可靠的測試平臺,,保證測試中的扎針質(zhì)量。優(yōu)異的光學(xué)系統(tǒng)結(jié)合分辨率<2μm的針座系統(tǒng),,確保扎針的穩(wěn)定性,。直流應(yīng)用中,X200M高品質(zhì)的電纜和三軸信號通路,,可使DUT特性分析達到fA水平,;射頻應(yīng)用中,通過縮短擴頻模塊與探針之間連接器的距離,可高效且更好地實現(xiàn)THz內(nèi)器件高品質(zhì)參數(shù)的提取,。優(yōu)異的三軸低漏電載物臺選件,,提高器件測試的信心。載物臺的單手快速移動及升降,、一體化真空開關(guān)等優(yōu)化設(shè)計使操作流程更加簡潔與人性化,,無論是初學(xué)者還是經(jīng)驗者,使用起來都非常方便,、易懂,。
專門為升級和擴展所設(shè)計的各種選項, 可輕松實現(xiàn)如負載牽引系統(tǒng),、太赫茲系統(tǒng),、 輻照系統(tǒng)、1/f噪聲等系統(tǒng)的搭載,,X200M 系統(tǒng)也可根據(jù)您的未來項目需求重新配置,。
高低溫手動屏蔽探針臺產(chǎn)品特點
?機臺可輕松實現(xiàn) - 60~200/300°C 高低溫測試。
?提供芯片級I-V / C-V低噪聲全 金屬屏蔽測試系統(tǒng)方案,。
?可輕松實現(xiàn)太赫茲及擴頻模塊的 升級搭載,。
?多孔吸附式載物臺設(shè)計,更好地 兼容薄晶圓固定,。
?優(yōu)異的屏蔽系統(tǒng)可搭載高低溫,, 為芯片提供更加成熟穩(wěn)定的老化 測試環(huán)境。
?短軸式拉桿設(shè)計,,將更加符合新 一代芯片系統(tǒng)測試的需求,。
?多種可選CHUCK類型,滿足常 規(guī)及高壓等特殊條件的測試,。