半導體溫控設備Chiller
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 普泰克（上海）制冷設備技術有限公司
- 品牌 proteco/普泰克
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/11/9 8:22:59
- 訪問次數 5222
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| 價格區(qū)間 | 10萬-30萬 | 應用領域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,電氣 |
|---|
半導體溫控設備Chiller主要用于半導體制程中對多路反應腔室的精準控溫,，裝置由熱交換器、循環(huán)泵,、壓縮機和控制系統(tǒng)構成,，采用先進的控制算法,，提高了chiller的穩(wěn)定性、控溫精度和反應速度,。在帶負載的情況下控溫精度可達±0.5℃,，可在-20℃~85℃之間任意控溫，有良好的溫度穩(wěn)定性,。
半導體溫控設備chiller由制冷,，加熱單元，循環(huán),，控制系統(tǒng)組成,，全密封結構對環(huán)境友好，產品系統(tǒng)多,，控溫范圍廣,，智能化控制軟件，加熱制冷速度快,。
產品分為：
1.單通道系列
2.雙通道系列
3.三通道系統(tǒng)
產品細節(jié)：
半導體溫控設備chiller參數說明：
| 名稱 | 參數 | 名稱 | 參數 | 名稱 | 參數 | |
| 1 | 單通道系列 | -20℃~+80℃ | 雙通道系列 | -45℃~+40℃ | 三通道系列 | -20℃~+50℃ |
| 2 | 溫度范圍 | ±0.1℃ | 溫度范圍 | ±0.2℃ | 溫度范圍 | ±0.1℃ |
| 3 | 精度 | 2kw@-10℃ | 精度 | 11kw@-20℃/5kw@-40℃ | 精度 | 15kw@-10℃ |
| 4 | 冷卻能力 | 3kw | 冷卻能力 | 2kw | 冷卻能力 | 2kw |
| 5 | 加熱能力 | [email protected] | 加熱能力 | [email protected] | 加熱能力 | [email protected] |
| 6 | 流量 | Rc3/4" | 流量 | Rc3/4" | 流量 | Rc3/4" |
| 7 | 端口大小 | 15~20°C | 端口大小 | 15~20°C | 端口大小 | 15~20°C |
| 8 | 溫度范圍 | 15LPM | 溫度范圍 | 30LPM | 溫度范圍 | 30LPM |
| 9 | 所需流量 | Rc1/2" | 所需流量 | Rc1/2" | 所需流量 | Rc3/4"*2 |
| 10 | 端口大小 | 0.3~0.7MPa | 端口大小 | 0.3~0.7MPa | 端口大小 | 0.3~0.7MPa |
| 11 | 進口壓力 | / | 進口壓力 | / | 進口壓力 | / |
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