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半導(dǎo)體計(jì)量透射電鏡 Metrios AX TEM

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 賽默飛電子顯微鏡
  • 品牌 FEI/賽默飛
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2025/6/27 15:45:04
  • 訪問次數(shù) 699

聯(lián)系方式:張怡玲查看聯(lián)系方式

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FEI公司,2016年被賽默飛世爾科技收購,,成為賽默飛材料與結(jié)構(gòu)分析(MSD) 電鏡事業(yè)部,,是顯微鏡和微量分析解決方案的創(chuàng)新者和供應(yīng)商。 我們提供掃描電子顯微鏡SEM,,透射電子顯微鏡TEM和雙束-掃描電子顯微鏡DualBeam FIB-SEM,,結(jié)合先進(jìn)的軟件套件,運(yùn)用廣泛的樣本類型,,通過將高分辨率成像與物理,、元素、化學(xué)和電學(xué)分析相結(jié)合,,使客戶的問題變成有效可用的數(shù)據(jù),。

掃描電子顯微鏡,雙束電鏡,,透射電子顯微鏡,,冷凍電鏡,X射線光電子能譜儀,,三維可視化軟件

價(jià)格區(qū)間 面議 儀器種類 熱場(chǎng)發(fā)射
應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工

半導(dǎo)體計(jì)量透射電鏡 Metrios AX TEM

用于半導(dǎo)體計(jì)量和工藝表征的高生產(chǎn)率透射電子顯微鏡

半導(dǎo)體計(jì)量透射電鏡 Metrios AX TEM主要特點(diǎn)

一致,、可重復(fù),、精確

全新設(shè)計(jì),提供可重復(fù)的基于 TEM 和 STEM 的成像,、分析和具備計(jì)量能力的計(jì)量器,。

計(jì)量準(zhǔn)確度

TEM 和 STEM 失真和放大率校正的組合誤差小于 0.75%。

自動(dòng)化 EDS 和混合計(jì)量

通過自動(dòng)化獲取和量化 EDS 數(shù)據(jù),。使用關(guān)鍵尺寸元件對(duì)比度來擴(kuò)展 STEM,。

工作流程連通性

通過樣品制備、提取和成像跟蹤關(guān)鍵工藝數(shù)據(jù),。計(jì)量可離線應(yīng)用,,從而極大增加工具采集時(shí)間。所有成像和計(jì)量數(shù)據(jù)均整合在基于網(wǎng)絡(luò)的圖像查看器中,。


規(guī)格

高壓范圍 (kV)

60-200 kV

信息限度 200 kV (nm)

0.11


未校正

探頭校正*

STEM HAADF 分辨率 (nm) 200 kV

  • ≤ 0.164

  • ≤ 0.083

STEM HAADF 分辨率 (nm) 80 kV

  • ≤ 0.31

  • ≤ 0.11

用于水平和垂直的 MetroCal 晶片的計(jì)量精密度

  • ≤ 0.3 nm 3σ


電子源

  • X-CFEG 或 XFEG


超穩(wěn)定電子設(shè)備和高壓

  • 包含


隔音罩

  • 包含


恒定功率透鏡

  • 包含


壓電載物臺(tái)

  • 包含


探頭校正器兼容






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