SEM主動(dòng)隔振平臺(tái)SEM-base VI

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公司名稱 上海倍藍(lán)光電科技有限公司
品牌
型號(hào)
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間 2025/5/26 13:40:36
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公司介紹 主營產(chǎn)品

上海倍藍(lán)光電科技有限公司成立于2012年，是一家年輕而又富有生命力的公司,，公司負(fù)責(zé)人于立民擁有中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械研究所應(yīng)用光學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室光學(xué)專業(yè)碩士學(xué)位,，同時(shí)擁有中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所航天遙感室物理電子學(xué)專業(yè)博士學(xué)位。曾就職于Labsphere Inc.（藍(lán)菲光學(xué)）公司擔(dān)任該公司亞太區(qū)技術(shù)總監(jiān),，負(fù)責(zé)亞洲區(qū)域內(nèi)客戶解決方案的制定及技術(shù)支持,。在供職期間，主導(dǎo)并設(shè)計(jì)了多項(xiàng)難度大,、技術(shù)復(fù)雜的定制項(xiàng)目,，如大口徑空間相機(jī)輻射定標(biāo)系統(tǒng)、弱光紫外空間相機(jī)輻射定標(biāo)系統(tǒng),、單波長可調(diào)諧均勻光源系統(tǒng),、高精度多光譜輻亮度標(biāo)定系統(tǒng)（輻照度標(biāo)準(zhǔn)燈-漫反射板系統(tǒng)）、顯示器ACR（環(huán)境對(duì)比度）測(cè)量系統(tǒng)等多個(gè)高難度,、高復(fù)雜度的定制系統(tǒng),。后帶領(lǐng)一支具有豐富的儀器設(shè)備開發(fā)、使用維護(hù)經(jīng)驗(yàn)的工程師和商務(wù)人員成立倍藍(lán)光電科技有限公司,。

公司專注于光電領(lǐng)域儀器設(shè)備的定制開發(fā),、代理銷售與系統(tǒng)集成業(yè)務(wù)包括儀器設(shè)備的維修和周邊產(chǎn)品的銷售，為國內(nèi)科研及制造業(yè)用戶提供全面的服務(wù),。公司致力于引進(jìn)國際上先進(jìn)的產(chǎn)品,、先進(jìn)的技術(shù)完善定制服務(wù)，向客戶提供完善的服務(wù),、完善的產(chǎn)品,、完善的售后服務(wù)。幫助客戶解決在科研,、生產(chǎn)中遇到的問題,。

公司在代理和銷售光電設(shè)備的同時(shí)并提供基于各種光電設(shè)備的拓展應(yīng)用和OEM研發(fā)。我們?cè)诠怆娦袠I(yè)有著多年的工作經(jīng)驗(yàn)和實(shí)際操作方案,，積累了大量的應(yīng)用和研發(fā)實(shí)例,，為客戶提供一站式的解決方案。

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概述

SEM-Base® VI是下一代STACIS主動(dòng)壓電消振產(chǎn)品,。SEM-Base VI被設(shè)計(jì)用于支撐所有商用掃描電子顯微鏡（SEM）以及許多聚焦離子束（FIB）和小型雙光束儀器,。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快,、更強(qiáng)大的控制器和**圖形用戶界面（GUI）。SEM-Base VI使許多實(shí)驗(yàn)室和設(shè)施達(dá)到了滿足工具制造商規(guī)格所需的地面振動(dòng)水平,。

SEM-Base VI采用的“串行結(jié)構(gòu)”,，其中的振動(dòng)傳感器測(cè)量地面振動(dòng),，而不是有效載荷振動(dòng)。與其他設(shè)計(jì)不同,，這確保了有效載荷共振不會(huì)限制隔振或造成不穩(wěn)定,。振動(dòng)傳感器是低頻慣性速度傳感器，在難以測(cè)量的亞Hz范圍內(nèi)具有**靈敏度,。結(jié)合我們的壓電致動(dòng)器技術(shù),，SEM-Base VI即使在安靜的地面上也能實(shí)現(xiàn)的消振水平。

SEM-Base VI可提供與以前型號(hào)平均高6 dB的隔振,。此外,，TMC的下一代控制器DC-2020采用了新的雙核處理器，為工具所有者和研究人員提供了一個(gè)非常簡單易用的圖形界面,，可實(shí)現(xiàn)快速系統(tǒng)評(píng)估和安全操作,。通過以太網(wǎng)連接時(shí)，DC-2020將在用戶的瀏覽器中創(chuàng)建SEM-Base GUI,，無需安裝其他軟件或應(yīng)用程序,。此外，用戶也可以通過板載菜單驅(qū)動(dòng)的液晶顯示器（LCD）與控制器連接,。

注意：請(qǐng)參見SEM-Closure,，這是一種專為保護(hù)SEM而設(shè)計(jì)的整體環(huán)境解決方案。它可以將SEM-Base和Mag-NetX® 固定在一個(gè)密封和溫控聲學(xué)室中 - 從而保護(hù)SEM免受振動(dòng),、磁場干擾和聲學(xué)噪聲的影響,。

SEM-Base VI的優(yōu)勢(shì)

硬安裝技術(shù) - SEM-Base VI與所有內(nèi)部SEM振動(dòng)控制系統(tǒng)兼容，可以從0.6 Hz開始主動(dòng)減輕低頻地面振動(dòng),。

主動(dòng)慣性振動(dòng)消除 - SEM-Base VI使用高靈敏度,、低頻慣性速度傳感器，即使在安靜的地面上也能實(shí)現(xiàn)高水平的振動(dòng)衰減,。

采用壓電技術(shù)的串行設(shè)計(jì) - 的串行設(shè)計(jì)和專有的高力壓電技術(shù)可實(shí)現(xiàn)0.6 Hz***150 Hz的寬主動(dòng)帶寬和從2 Hz開始減振90％的**慣性主動(dòng)振動(dòng)消除性能,。

集成式的單平臺(tái)設(shè)計(jì) - SEM-Base VI設(shè)計(jì)與制造的集成化，將安裝平臺(tái)的工作簡化到了**,，簡單的定位與設(shè)置之后即可正常工作,。

NOTE：可選SEM-Closure，專門設(shè)計(jì)用于保護(hù)SEM的完整環(huán)境解決方案,。在SEM- Closure密封隔音室內(nèi)可兼顧放置 SEM-Base VI與Mag-Net X,，保護(hù)SEM免除振動(dòng)、磁場擾動(dòng)與聲波噪音的影響,。

產(chǎn)品特點(diǎn)

? STACIS**技術(shù)

? 主動(dòng)慣性振動(dòng)清除系統(tǒng)

? 895×1124×160 mm (35.25×44.25×6.3 in.)適合絕大多數(shù)商業(yè)SEM

? 負(fù)載能力：408-1134kg (900-2500 lb.)

? 隔振效率1Hz:40-70%

? 隔振效率經(jīng)2Hi:90%

? 隔振效率＞3Hz:90-98%

? 6個(gè)主動(dòng)自由度

? 安裝容易,，調(diào)試簡單

? 兼容所有設(shè)備內(nèi)直的振動(dòng)隔離系統(tǒng)

? 電源：100-240VAC, 50/60Hz, <600W

? 是否需要空氣：非氣浮系統(tǒng)

? CE與RoHS認(rèn)證

? 集成式的單平臺(tái)設(shè)計(jì)

? 可安裝腳輪，輕松便攜移動(dòng),，無需搬運(yùn)

? 兼容SEM-lift系統(tǒng)

規(guī)格

性能規(guī)格

主動(dòng)自由度	6
主動(dòng)帶寬	0.6 Hz - 100 Hz
被動(dòng)固有頻率	標(biāo)稱值為12 Hz
有效的主動(dòng)共振頻率	0.5 Hz
1 Hz時(shí)的隔振	40% - 70%
2 Hz時(shí)的隔振	90%
≥3 Hz時(shí)的隔振	90 - 98%
內(nèi)部噪音	<0.1 nm RMSd>
工作負(fù)載范圍	標(biāo)準(zhǔn)承重能力：900 - 2,500磅（408 - 1134千克）高承重能力：2,500 - 3,200磅（1134 - 1452千克）
磁場發(fā)射4英寸（102毫米）處距離平臺(tái)	<0.02 μG broadbａnd RMSd>

設(shè)計(jì),、尺寸,、環(huán)境和效用要求

環(huán)境和安全	符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)
主動(dòng)隔振元件	**小承重能力為3300磅（1500千克）的壓電致動(dòng)器接收來自高壓放大器的信號(hào)，其輸出高達(dá)800 VDC,。垂直執(zhí)行器支撐隔振的有效載荷
被動(dòng)隔振元件	單個(gè)硬彈性體（無需壓縮空氣源）
振動(dòng)傳感器元件	向下的地震檢波器型慣性傳感器,，用于測(cè)量隔振器下方的地面振動(dòng)，并提供與振動(dòng)運(yùn)動(dòng)速度成正比的電壓
主動(dòng)反饋控制回路	在支撐隔振表面的彈簧下方測(cè)量,、處理和支撐隔離面
尺寸（寬 x 深）	35.25 x 44.25英寸 895 x 1124毫米
高度	標(biāo)稱6.3英寸（160毫米）,， SEM-Base關(guān)閉時(shí)不會(huì)改變
工作溫度	50° - 90° F 10° - 32° C
儲(chǔ)存溫度	-40° - 130° F -40° - 55° C
濕度	30 - 60%
系統(tǒng)電源要求	100、120,、230,、240 VAC 50/60 Hz AC； <600 W 符合CE標(biāo)準(zhǔn)
地面位移	<800 μin. (20 μm) below 10 Hzd>

內(nèi)置控制器規(guī)格

處理器	150/75 MHz雙核
采樣率	10 kHz
模擬輸出	16個(gè)通道
模擬輸入	16個(gè)通道
狀態(tài)燈	單個(gè)LED
前面板端口	1個(gè)串行USB 2.0 1個(gè)串行Micro-USB 1個(gè)以太網(wǎng)RJ-45 2個(gè)BNC
用戶界面	前面板液晶顯示屏超級(jí)終端上的字符菜單適用于Microsoft Windows的擴(kuò)展GUI 嵌入式以太網(wǎng)GUI