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主動消振系統(tǒng)Stage-base

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上海倍藍(lán)光電科技有限公司成立于2012年,是一家年輕而又富有生命力的公司,,公司負(fù)責(zé)人于立民擁有中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械研究所應(yīng)用光學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室光學(xué)專業(yè)碩士學(xué)位,,同時(shí)擁有中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所航天遙感室物理電子學(xué)專業(yè)博士學(xué)位。曾就職于Labsphere Inc.(藍(lán)菲光學(xué))公司擔(dān)任該公司亞太區(qū)技術(shù)總監(jiān),,負(fù)責(zé)亞洲區(qū)域內(nèi)客戶解決方案的制定及技術(shù)支持,。在供職期間,主導(dǎo)并設(shè)計(jì)了多項(xiàng)難度大,、技術(shù)復(fù)雜的定制項(xiàng)目,,如大口徑空間相機(jī)輻射定標(biāo)系統(tǒng)、弱光紫外空間相機(jī)輻射定標(biāo)系統(tǒng),、單波長可調(diào)諧均勻光源系統(tǒng),、高精度多光譜輻亮度標(biāo)定系統(tǒng)(輻照度標(biāo)準(zhǔn)燈-漫反射板系統(tǒng))、顯示器ACR(環(huán)境對比度)測量系統(tǒng)等多個(gè)高難度,、高復(fù)雜度的定制系統(tǒng),。后帶領(lǐng)一支具有豐富的儀器設(shè)備開發(fā)、使用維護(hù)經(jīng)驗(yàn)的工程師和商務(wù)人員成立倍藍(lán)光電科技有限公司,。

公司專注于光電領(lǐng)域儀器設(shè)備的定制開發(fā),、代理銷售與系統(tǒng)集成業(yè)務(wù)包括儀器設(shè)備的維修和周邊產(chǎn)品的銷售,為國內(nèi)科研及制造業(yè)用戶提供全面的服務(wù)。公司致力于引進(jìn)國際上先進(jìn)的產(chǎn)品,、先進(jìn)的技術(shù)完善定制服務(wù),,向客戶提供完善的服務(wù)、完善的產(chǎn)品,、完善的售后服務(wù),。幫助客戶解決在科研、生產(chǎn)中遇到的問題,。

公司在代理和銷售光電設(shè)備的同時(shí)并提供基于各種光電設(shè)備的拓展應(yīng)用和OEM研發(fā),。我們在光電行業(yè)有著多年的工作經(jīng)驗(yàn)和實(shí)際操作方案,積累了大量的應(yīng)用和研發(fā)實(shí)例,,為客戶提供一站式的解決方案,。

 

 

儀器

概述

TMC繼續(xù)在*技術(shù)的基礎(chǔ)上開發(fā)新的解決方案,以滿足半導(dǎo)體工具對其隔振系統(tǒng)提出的挑戰(zhàn)性要求,。Stage-Base 450是專為帶高精度電動X-Y平臺的**半導(dǎo)體工具而設(shè)計(jì)的主動消振系統(tǒng),。這些工具不但需要極其有效的消振性能,它們還要求由平臺引起的有效載荷運(yùn)動能夠非??焖俚胤€(wěn)定,,以**限度地提高工具吞吐量。通過增加帶有前饋控制的VCM,,可以縮短穩(wěn)定時(shí)間,,進(jìn)一步提高吞吐量,從而為移動平臺應(yīng)用提供***的主動振動和運(yùn)動消除系統(tǒng),。

主動消振系統(tǒng)Stage-base(圖1)

 

Stage-Base 450優(yōu)勢

Stage-Base 450采用了下一代主動硬安裝壓電消振集成音圈技術(shù),。只有TMC可以提供這種的**低頻消振串行型技術(shù),通過使用音圈電機(jī)(VCM),,實(shí)現(xiàn)了主動移動平臺運(yùn)動消除,。

Stage-Base 450下一代主動控制系統(tǒng)采用TMC的STACIS技術(shù)。使用壓電致動器和串行式架構(gòu)中的剛性懸架實(shí)現(xiàn)了**的消振,。這實(shí)現(xiàn)了始于0.6 Hz的業(yè)內(nèi)**地面隔振,,響應(yīng)于平臺力的初始偏轉(zhuǎn)明顯更小。

 

規(guī)格

? 采用的STACIS®技術(shù)

? 采用高力,、加長行程的壓電致動器

? 有效載荷的位置可重復(fù)性在微米以內(nèi)

? 框架安裝設(shè)計(jì)

? 6個(gè)主動自由度

? 可選的VCM前饋和/或反饋

? 始于0.6 Hz的主動隔振

? 響應(yīng)平臺運(yùn)動的快速穩(wěn)定時(shí)間

? 無軟空氣懸架

? 通過USB 2.0實(shí)現(xiàn)基于PC的圖形用戶界面(GUI)的高速數(shù)字控制器

? 簡單,、堅(jiān)固且經(jīng)濟(jì)高效

 

性能

主動消振系統(tǒng)Stage-base(圖2)

 

主動消振系統(tǒng)Stage-base(圖3)

 

應(yīng)用照片

主動消振系統(tǒng)Stage-base(圖4)
主動消振系統(tǒng)Stage-base(圖5)


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