薄膜應力及基底翹曲測試設備
- 公司名稱 上海富瞻環(huán)保科技有限公司
- 品牌 Bruker/布魯克
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2023/5/22 10:08:02
- 訪問次數(shù) 457
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非甲烷總烴在線監(jiān)測儀,,有機揮發(fā)物氣體監(jiān)測儀,沼氣檢測儀,,大氣環(huán)境在線檢測儀,,空氣質量指數(shù)檢測儀器,大氣氣象綜合分析系統(tǒng),,林業(yè)大氣環(huán)境檢測儀,,交通環(huán)境大氣污染檢測,,惡臭工作站
薄膜應力及基底翹曲測試設備
產品品牌:Frontier Semiconductor
產品型號:FSM 128
薄膜應力及基底翹曲測試設備簡介
FSM推出基于商業(yè)化應用的激光掃描光學杠桿(Optilever)技術,,主要應用于薄膜應力和晶圓彎曲測量。該設備頻繁使用在分析解決諸如薄膜裂紋,,分層,,突起和空隙是如何形成的問題。FSM128系列設備,,適合在半導體,,三-五族,太陽能,,微機電,,數(shù)據(jù)存儲和液晶面板行業(yè)的下一代器件的研發(fā)和生產中使用。
快速&非接觸激光掃描
3-D 視圖 &輪廓圖
可在室溫&高溫環(huán)境下測量
適用晶圓尺寸 50-300mm(如有其它尺寸測量需求可定制)
可使用機械手臂搬送晶圓
主要設計特性:
· 多用途
FSM 128 NT 可以兼容測量50-200mm尺寸晶圓,,而無需更換晶圓樣品載片臺,。FSM 128系列其它型號主要針對其它尺寸樣品設計。(例如:FSM128L可以測量大到300mm尺寸的晶圓樣品,,而FSM 128G則專門設計來測量尺寸大到650 x 550mm的面板樣品)
· 樣品容易放置和回收
設計的可自動伸縮開關門機構,,方便從樣品載片臺上放置和回收晶圓樣品,使多片晶圓測量變得輕而易舉,。
· 自動切換雙波段激光
FSM128系列具有的自動激光切換掃描技術.當樣品反射率不好時,,系統(tǒng)會自動切換到不同波長的另外一只激光進行掃描。這使客戶可以測量包括Nitride,,Polyimides, Low K,,High K,金屬等幾乎所
有的薄膜而不會遇到無法測量的問題。
· 2-D & 3-D Map
FSM128配備有馬達驅動的可旋轉載片臺,,可以快速生成2-D&3D Map圖幫助用戶可以看到整片晶圓的曲率和應力變化分布,,并準確反映出工藝和均勻性有問題的區(qū)域。
· 薄膜厚度
FSM128可以整合介電材料薄膜的厚度測量功能,,使設備變成一臺可以在研發(fā)和生產環(huán)境下靈活使用強大的桌面型設備,。
測量結果圖表和Map可以很容易以Excel或者Word文檔輸出生成報告
主要應用于半導體, LED,太陽能,數(shù)據(jù)存儲 & 液晶面板產業(yè)