共聚焦顯微鏡結(jié)合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞,，再將物鏡垂直移動,，以類似斷層攝影方式，可在短時間(約幾秒)內(nèi)精確量測物體的三維數(shù)據(jù).由于使用了共聚焦的方法,，在測量漸變較大的高度時,，跟其他方法相比,，可以更精確量測物體高度,，建立3D立體影像，優(yōu)勢相當(dāng)明顯,。

中圖激光共聚焦顯微鏡VT6000以共聚焦技術(shù)為原理,、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量,，是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的光學(xué)檢測儀器。

產(chǎn)品功能

1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；

2)設(shè)備具備自動拼接功能,，能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量,；

3)設(shè)備具備一體化操作的測量與分析軟件，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進行測量,，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能,，即可快速實現(xiàn)批量測量功能；

4)設(shè)備具備調(diào)整位置,、糾正,、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5)設(shè)備具備粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,，可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,；

性能特點

1）結(jié)構(gòu)簡單：儀器整體由一臺輕量化的設(shè)備主機和電腦構(gòu)成，控制單元集成在設(shè)備主機之內(nèi),，亦可采用筆記本電腦驅(qū)動,，實現(xiàn)了“拎著走”的便攜式設(shè)計；

2）真彩圖像：配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像,，對細節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn),；

3）操作便捷：采用全電動化設(shè)計，并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換,，圖像視窗和分析視窗同界面的設(shè)計風(fēng)格,，實現(xiàn)了所見即所得的快速檢測效果；

4）中圖激光共聚焦顯微鏡采用自研的電動鼻輪塔臺,，并對軟件防撞設(shè)置與硬件傳感器防撞設(shè)置功能進行了優(yōu)化,，確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應(yīng)對。