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RTP500V-mini/RTP600V 退火爐

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 邁可諾技術(shù)有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 RTP500V-mini/RTP600V
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2024/5/17 12:57:04
  • 訪問次數(shù) 1023
產(chǎn)品標簽

退火爐

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半導體化工領域?qū)I(yè)實驗設備供應商:邁可諾是一家富有創(chuàng)新精神的高科技公司,專業(yè)提供光電半導體化工實驗室所需設備耗材的全套解決方案提供商,,邁可諾從事開發(fā),、設計、生產(chǎn)并營銷質(zhì)量可靠的,、安全易用的技術(shù)產(chǎn)品及優(yōu)質(zhì)專業(yè)的服務,,幫助我們的客戶和合作伙伴取得成功。我們成功的基礎是幫助客戶做出更好的選擇和決定,,尊重他們的決定,,并協(xié)助他們實現(xiàn)高效率的科研成果,追求豐富有意義的生活,。




勻膠機,,光刻機,顯影機,等離子清洗機,,紫外臭氧清洗機,,紫外固化箱,壓片機,,等離子去膠機,,刻蝕機,加熱板

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應用領域 化工,電子,電氣
名稱 退火爐 型號 ?RTP500V-mini/RTP600V

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目前在半導體技術(shù)領域中,,科學家試圖利用極微量的氧氣對薄膜表面進行去毛刺工藝,如果氧氣量過大,,將可能把整個薄膜“吃掉”,,氧氣量小但不穩(wěn)定,則影響到成品的品質(zhì)和重復性,。這對RTP在微量氣體的混氣控制上提出了極大的挑戰(zhàn),。
  實現(xiàn)常壓下千分之一的氣體分壓。即反應氣體和保護氣氛的常壓配比為1比1000,。一般實現(xiàn)氣體配比的方法是使用質(zhì)量流量控制器(MFC),,對兩種氣體的流量進行精確控制,例如配比為3:2時,,兩個質(zhì)量流量計的流量分別調(diào)整為600sccm和400sccm,,這時氣體配比就可以實現(xiàn)3:2的配比。
  但是,,當兩種氣體的配比非常懸殊的時候,,就產(chǎn)生兩個問題,首先是大量程MFC的誤差絕對值超過了小量程氣體MFC本身的量,,使得配比的重復性和精確度變差,。即使使用進口的MFC也不能幸免。其次,,由于一方氣體流量過小,,會使流量大的一方的氣體阻止或倒灌到流量小的氣路中,從而無法保證反應氣體進入反應室內(nèi),。
北京東之星應用物理研究所首先采用精確的壓力控制使壓力與流量有效的配合,,同時委托MFC廠家以東之星*的送氣控制方式定制了MFC。從而有效的防止了大配比氣體(一般是氮氣)的倒灌和阻塞,。才實現(xiàn)了高精確度的千分之一氣體配比,。




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