飛行時間二次離子質(zhì)譜測試設(shè)備

先進的動態(tài)TOF-SIMS系統(tǒng),，它使用直流主束的飛行時間分析儀,，創(chuàng)建了成像質(zhì)譜的新范式。直流一次離子束的使用允許快速成像和連續(xù)數(shù)據(jù)采集（即沒有單獨的蝕刻周期）,，同時提供高空間和質(zhì)量分辨率,。

特點：

離子束帶來高分子量分析和高空間分辨率

四種離子束可選擇

用氣體團簇離子束SIMS，可以分析高達3000Da的分子量

無“僅蝕刻”循環(huán)的深度剖面,。

快速,、連續(xù)采集

冷樣品處理

氣敏和冷凍樣品

技術(shù)參數(shù)：

離子束帶來高分子量分析和高空間分辨率

四種離子束可選擇

用氣體團簇離子束SIMS，可以分析高達3000Da的分子量

無“僅蝕刻”循環(huán)的深度剖面,。

快速,、連續(xù)采集

冷樣品處理

氣敏和冷凍樣品,可配置手套箱

高級數(shù)據(jù)查看功能

腔室上最多可包括3種離子束。選擇包括金,，C60,，氣體團簇，和等離子體-每一個適合特定的樣品類型或?qū)嶒?，如下所示?/p>

主要特點：

深度剖面

該 飛行時間二次離子質(zhì)譜測試設(shè)備SIMS非常適合于樣品的深度剖面分析。使用直流離子束進行分析的一個重要方面是,，不需要將蝕刻離子束與分析離子束交錯,。為了能夠在合理的時間尺度上生成3D圖像，并去除受損的亞表面層,，傳統(tǒng)的TOF實驗使用了交錯成像和蝕刻循環(huán),，這些循環(huán)浪費了寶貴的樣品。在使用C60+或（CO2）n/Arn+等連續(xù)分析離子束,，分析和低損傷刻蝕是連續(xù)和并行的,，因此沒有數(shù)據(jù)丟失，所有材料都被采樣,，使我們 SIMS成為一個非常精確的深度剖面分析工具,。

溫度和大氣控制的多功能樣品處理

該 SIMS上的多功能樣品處理系統(tǒng)可以分析多種樣品類型。儀器配備液氮冷卻裝置,，以便對揮發(fā)性樣品進行分析——冷卻裝置適用于主樣品階段和樣品插入鎖,。相反，樣品臺也可以加熱到600 K,。

儀器配有手套箱,，用于在干燥氣體下制備和插入空氣/水敏感樣品，并防止冷卻過程中結(jié)冰,。由于小容量負載鎖定和高泵送速度,，樣品插入很快。

半導(dǎo)體

半導(dǎo)體分析的范圍可以從淺結(jié)深度剖面到高分辨率3D成像,。有五種不同的主離子束可供選擇,，可以針對不同的材料或?qū)嶒烆愋瓦M行定制。

從 40kV C60 光束中進行選擇,，即使在混合材料上也能提供高分辨率成像和均勻的濺射率,，是平面設(shè)備的理想選擇?；?span style="padding: 0px; margin: 0px; box-sizing: border-box; max-width: 100%;"> FLIG 5,，超低能耗 O2/Cs 光束，具有高的電流密度，是淺結(jié)深度剖析的選擇,。

特征：IOG C60-40,， FLIG 5， 深度剖析,， 3D 成像

聚合物

液態(tài)金屬離子束會導(dǎo)致高水平的碎裂和對表面的損壞,，然后必須通過GCIB將其去除。這會降低深度分辨率,，并增加實驗不必要的復(fù)雜性,。GCIB是主光束，因此可確保低分段,，不需要僅蝕刻循環(huán),，并保證高深度分辨率。

GCIB SM 是市場上能量最高的 GCIB,，能夠快速和最小的損壞蝕刻聚合物等軟質(zhì)材料,，從而實現(xiàn)比以往更大的 3D 分析量。

特征：GCIB SM,， 深度剖析,， 3D 成像