美國 BROOKS SLA5850S1BAB1C2A1 氣體流量計

美國 BROOKS SLA5850S1BAB1C2A1 氣體流量計

降低擁有成本

SLA5800系列允許多氣體和多量程

減少客戶庫存的能力,。存儲和

預(yù)編程多達(dá)10個氣體校準(zhǔn)輕松

允許用戶在不同的氣體和

單個設(shè)備上的范圍。

共面閥的選擇

共面閥選項提供

的性能,。由于其簡化的結(jié)構(gòu),，

閥門具有*的旋轉(zhuǎn)、重復(fù)性和穩(wěn)定性

和響應(yīng)時間

規(guī)范

性能特點:

流量范圍

模型SLA5850 / SLA5860

任何FS范圍從0-3 ccm到0-30 lpm (N2 eq.)

*高達(dá)0-50 lpm (N2

Eq .) w/共面閥選項

模型SLA5851 / SLA5861

任何FS范圍從20-100 lpm (N2

情商),。

高達(dá)200 lpm H2

流可能

模型SLA5853 / SLA5863

任何FS范圍為100-2500 lpm (N2

情商),。

控制范圍

翻領(lǐng)50:1

共面閥選項下壓100:1

(任何FS范圍為1-50 lpm (N2 eq.))

準(zhǔn)確性(N2

Eq.在校準(zhǔn)條件下)。

±1.0%的速率(20% - 100% FS)

±0.2% FS(低于20% FS)至1100 lpm,。

(可選:±0.7%速率±0.2% FS(“s系列”)至

1100行分鐘,。

流量范圍在1100 lpm和2500 lpm以上:

±1.0%滿量程。

可重復(fù)性

±0.20%的利率,。

沉降時間/響應(yīng)時間

小于1秒至a的最終值±2% FS內(nèi)

0-100%命令步長(根據(jù)要求更好)

對于流量高達(dá)100 lpm (N2 eq.),。

小于3秒，在±2% FS的最終值a

0-100%命令步長(根據(jù)要求更好)

對于流量大于100 lpm (N2

Eq .)到2500

行分鐘(N2

情商),。

對安裝姿態(tài)的敏感性

FS與精度的最大偏差<0.2%

后重新調(diào)零,。

評級:

溫度敏感性

0:低于0.05% FS /℃

跨度:小于0.05% FS /°C

壓力敏感性

±0.03%每psi高達(dá)200 psig (N2 eq.)。

最大工作壓力

見下表1:

可選4500 psig (300 bar)為50,60和61系列

身體只有,。

壓差范圍(控制器)

模型SLA5850

5 psi (0.35 bar)至30 lpm (N2

情商),。

30 psi (2.07 bar)從30 lpm到50lpm (N2

情商)。

共面閥選項

模型SLA5851

10 psi (0.69 bar)從30 lpm到100 lpm (N2

情商),。

模型SLA5853

7.5 psi (0.52 bar)在500 lpm (N2

情商),。

14.5 psi (1.00 bar)在1000 lpm (N2

情商)。

35.0 psi (2.41 bar)在2500 lpm (N2

情商),。

高壓高壓閥30 psi (2.07 bar)至290 psi(最大20 bar)

低壓閥7.5 (0.52 bar)至30 psi (2.07 bar max.)

最大:

SLA5850型共面閥250psi (17-24 bar)

最小和最大壓降取決于氣體和

FS流量(咨詢工廠)..

泄漏完整性

從內(nèi)到外:1x10-9 atm scc/秒氦最大,。

環(huán)境溫度范圍

工作:0°C至65°C(32°F至149°F)

非工作狀態(tài):-25°C至100°C(-13°F至212°F)

流體溫度限制

0°C至65°C(32°F至149°F)

物理:

材料的建筑

濕件。不銹鋼帶

氟橡膠®氟橡膠

可選:丁納- n, Kalrez®，特氟龍®/Kalrez和EPDM

輪廓尺寸

參考大綱圖,，圖1至圖9

過程連接

參考大綱圖,，圖1至圖9

布魯克斯儀器在世界各地提供銷售和服務(wù)設(shè)施。

*當(dāng)?shù)氐匿N售和服務(wù)辦公室提供校準(zhǔn)設(shè)施,。我們當(dāng)?shù)氐亩攘亢庹J(rèn)證

并可追溯相關(guān)國際標(biāo)準(zhǔn),。

啟動服務(wù)和現(xiàn)場校準(zhǔn)

*布魯克斯儀器可在作業(yè)前提供啟動服務(wù)，如有必要,，在現(xiàn)場條件下

檢測結(jié)果可追溯至相關(guān)國際質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn),。

客戶研討會及培訓(xùn)

* Brooks®可為工程師、最終用戶和維護(hù)人員提供客戶研討會和專門培訓(xùn),。

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