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原子層沉積ALD

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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上海磊微科學(xué)儀器有限公司 成立于2015年,,總部位于上海市自由貿(mào)易區(qū),是一家集銷售,、服務(wù),、技術(shù)支持及研發(fā)為一體的企業(yè)。公司主要產(chǎn)品為高精度的分析檢測,、生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)的備件,,目前已與ParkTescan,、Picosun,、Instec等優(yōu)秀設(shè)備供應(yīng)商建立戰(zhàn)略合作關(guān)系。

上海磊微銷售高精度的產(chǎn)品,,同時培養(yǎng)了專業(yè)的銷售和售后服務(wù)團(tuán)隊(duì),,以專業(yè)的服務(wù)獲得了廣大客戶的認(rèn)可。目前,,上海磊微提供的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于芯片,、顯示、太陽能等半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域客戶,,同時服務(wù)于各大高校,、科研院所,并以專業(yè)的銷售和售后服務(wù)獲得了廣大客戶的認(rèn)可并建立了良好的合作關(guān)系,。同時在北京,、成都、深圳,、合肥,、煙臺等地設(shè)有服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)。

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展如火如荼的今天,,上海磊微伴隨著行業(yè)不斷學(xué)習(xí),、積極提升自身水平, 為越來越多的客戶提供了專業(yè)的產(chǎn)品和服務(wù),。今后,,磊微將以不斷培育的市場為依托,以先進(jìn)優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品為核心,,以高效運(yùn)作的團(tuán)隊(duì)為基礎(chǔ),,迎來更快更好的發(fā)展。我們一直秉承團(tuán)結(jié)創(chuàng)新,、嚴(yán)謹(jǐn)奮進(jìn)的企業(yè)精神,,秉承誠信務(wù)實(shí)、互利多贏的經(jīng)營理念,,努力為客戶,、為社會提供高品質(zhì)產(chǎn)品和服務(wù),。



原子力顯微鏡,掃描電鏡,,原子層沉積ALD,,探針

價格區(qū)間 面議 儀器種類 TOF
應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,能源

PICOSUN™P-300BV原子層沉積ALD系統(tǒng)已經(jīng)成為高產(chǎn)能ALD制 造業(yè)的新標(biāo)準(zhǔn)。擁有的熱壁,、*獨(dú)立的 前驅(qū)體管路和特殊的載氣設(shè)計(jì),, 確保我們可  以生產(chǎn)出具有優(yōu)異的成品率、低顆粒水平和  電學(xué)和光學(xué)性能的高質(zhì)量ALD薄膜,。  高效緊湊的設(shè)計(jì)使得維護(hù)更加方便,、快捷, 最 大限度的減少了系統(tǒng)的維護(hù)停工期和使用成  本,。擁有技術(shù)的Picoflow™使得在超高深 寬比結(jié)構(gòu)上沉積保形性薄膜更高效,, 并已在  生產(chǎn)線上得到驗(yàn)證。

 

PICOSUN™P-300BV系統(tǒng)代表了工業(yè) 化ALD工藝水平,。這個系統(tǒng)是為半自動化的批 量生產(chǎn)而設(shè)計(jì),。設(shè)備本身針對快速批量生產(chǎn)  進(jìn)行了優(yōu)化,并允許通過SECS/GEM整合到自 動化生產(chǎn)線上,。擁有加熱選項(xiàng)的真空加載系 統(tǒng)可以對敏感的基底進(jìn)行潔凈加工并沉積金 屬氮化物薄膜,。
 

PICOSUN™ P-300BV是創(chuàng)新驅(qū)動行業(yè)的選 ALD系統(tǒng)!

襯底尺寸和類型

•   200mm晶圓 25片/批次(標(biāo)準(zhǔn)間距)

•    150mm 晶圓 50片/批次(標(biāo)準(zhǔn)間距)

•    100mm 晶圓 75片/批次(標(biāo)準(zhǔn)間距)

•    非標(biāo)準(zhǔn)晶圓類基底(使用定制夾具)

 

工藝溫度

•    50 – 450°C

 

標(biāo)準(zhǔn)工藝

•   批量生產(chǎn)的平均工藝時間小于10秒/循環(huán)*

•   Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2,AlN, TiN以及各種金屬

•    同一批次薄膜不均勻性<1% 1σ

(Al2O3, WIW, WTW, B2B, 49pts, 5mm EE)**

 

基片裝載

•    立式半自動裝載(一或兩個cassette位置)

•    裝載室加熱功能可選

 

前驅(qū)體

•    液態(tài),、固態(tài),、氣態(tài)、臭氧源

•    源瓶余量傳感器,, 提供清洗和裝源服務(wù)

•     4根獨(dú)立源管線,, 最多加載8個前驅(qū)體源



化工儀器網(wǎng)

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