SuperViewW1高精度3d輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理,，能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,，3D表面粗糙度,、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué),，半導(dǎo)體,，材料，精密機(jī)械等等領(lǐng)域,。是一款非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器,。

作為三維形貌測(cè)量領(lǐng)域高精度的檢測(cè)儀器之一，高精度3d輪廓儀在同等放大倍率下,，測(cè)量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡,。雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì)，既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣,，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,，可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng)，同時(shí)內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動(dòng),，確保儀器在車間也能正常工作,。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能,；

2）測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦,、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能,；

3）測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量,、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能；

4）分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5）分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

應(yīng)用

在3C領(lǐng)域,，可以測(cè)量藍(lán)寶石屏,、濾光片、表殼等表面粗糙度,；

在LED行業(yè),，可以測(cè)量藍(lán)寶石、碳化硅襯底表面粗糙度,；

在光纖通信行業(yè),，可以測(cè)量光纖端面缺陷和粗糙度；

在集成電路行業(yè),，可以測(cè)量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度,；

在EMES行業(yè)，可以測(cè)量臺(tái)階高度和表面粗糙度,；

在軍事領(lǐng)域,，可以測(cè)量藍(lán)寶石觀察窗口表面粗糙度。