我司具有大量博士研究生等高學(xué)歷人才,,設(shè)備所涉及到的軟件,、自動(dòng)化和機(jī)械等均有自己的知識(shí)產(chǎn)權(quán) ,也可依據(jù)客戶需求,,完成定制化設(shè)備的研發(fā)生產(chǎn)。
工藝應(yīng)用:
快速熱處理(RTP),,快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),,快速熱氮化(RTN),;
離子注入/接觸退火;
高溫退火,;
高溫?cái)U(kuò)散,。
金屬合金;
熱氧化處理,;
應(yīng)用領(lǐng)域:
化合物半導(dǎo)體(砷化鎵,、氮化物,、碳化硅等);
多晶硅,;
太陽(yáng)能電池片,;
MEMS;
功率器件,;
IC晶圓;
LED晶圓,。
量伙半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司成立于2018年,,位于上海市浦東新區(qū),。公司專(zhuān)注于半導(dǎo)體芯片設(shè)備的研發(fā),、生產(chǎn)和銷(xiāo)售,,為半導(dǎo)體芯片制造行業(yè)提供優(yōu)秀的設(shè)備和高質(zhì)量的服務(wù)、
公司在安徽合肥設(shè)有研發(fā),、生產(chǎn)基地,,在北京、西安設(shè)有辦事處,。
公司自主研發(fā)的快速退火爐RTP具有國(guó)內(nèi)xianjin的技術(shù)水平,,已在Fab廠、研究所,、高校等芯片生產(chǎn)單位得到廣泛應(yīng)用,。