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半導(dǎo)體設(shè)備 AMC在線監(jiān)測(cè)
- 公司名稱 廣東瑞零科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2022/9/14 17:33:44
- 訪問(wèn)次數(shù) 328
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價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,綜合 |
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半導(dǎo)體設(shè)備 AMC在線監(jiān)測(cè),,AMC為Airborne Molecular Contaminants的縮寫,,從字面意義來(lái)看,是初始狀態(tài)為氣相,。行為像單一分子的氣態(tài)污染物,或者說(shuō)是在環(huán)境中有能力沉降于材料表面形成單分子層薄膜的化學(xué)污染物,,譯為“懸浮分子污染物”或“氣載分子污染物”,。簡(jiǎn)言之,AMC就是對(duì)產(chǎn)品或工藝設(shè)備及其流程有不良影響的非粒子狀的懸浮化學(xué)污染物,。 國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料協(xié)會(huì)在SEMI F21-95,,F(xiàn)21-1102中給出了AMC氣體的分類體系。該標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體業(yè)的潔凈環(huán)境,,4個(gè)“標(biāo)準(zhǔn)范圍”:酸(MA),,堿(MB),,冷凝物(MC),雜物(MD),。涵蓋所有對(duì)產(chǎn)品或工藝有危險(xiǎn)的AMC,,不僅適用于半導(dǎo)體生產(chǎn),也適用于藥品生產(chǎn),。