德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺 六足位移臺 H-825.G2A

一,、H-825.G2A六足位移臺產(chǎn)品特點(diǎn)：

1,、30公斤負(fù)載能力

2,、±27.5毫米直線行程,，±11.5度旋轉(zhuǎn)行程

3、X軸,，Y軸,，Z軸方向位移0.25微米

4、重復(fù)精度±0.1微米/±2微弧度

5,、搭載無刷直流電機(jī)和編碼器

二,、H-825.G2A六足位移臺產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域：

H-825.G2A六足位移臺主要應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)榭蒲蓄I(lǐng)域和工業(yè)領(lǐng)域，用于微型裝配,，生物技術(shù),，半導(dǎo)體制造，光學(xué)對準(zhǔn),。

三,、H-825.G2A六足位移臺產(chǎn)品參數(shù)：

行程參數(shù)：

主動軸：X，Y,，Z,，θX，θY,，θZ

X,、Y向上的行程：±27.5；±25毫米

Z向上的行程：±14毫米

θX,、θY向上的行程：±11.5,；±10.5度

θZ向上的行程：±19度

精度參數(shù)：

設(shè)計(jì)分辨率：0.008微米

X、Y和Z向上的位移：0.3,；0.3,；0.25微米

θX,、θY、θZ向上的位移：3.5,；3.5,；4微弧度

X、Y向上的空回：3微米

Z向上的空回：1微米

θX,、θY向上的空回：20微弧度

θZ向上的空回：25微弧度

X,、Y向上的重復(fù)精度：±0.5；±0.25微米

Z向上的重復(fù)精度：±0.1微米

θX,、θY向上的重復(fù)精度：±2微弧度

θZ向上的重復(fù)精度：±2.5微弧度

X,、Y和Z向上的速度：2.5毫米/秒

θX、θY和θZ向上的速度：27毫弧度/秒

X,、Y和Z向上的典型速度：2毫米/秒

θX,、θY和θZ向上的典型速度：5.5毫弧度/秒

負(fù)載參數(shù)：

負(fù)載能力（底板為水平方向/任意方向）：30/10千克

保持力，斷電（底板為水平方向/任意方向）：300/150牛

其他參數(shù)：

工作溫度范圍：-10到50攝氏度

質(zhì)量：10千克

電機(jī)類型：無刷直流電機(jī)

德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺 六足位移臺 H-825.G2A