德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 壓電陶瓷位移臺(tái) P-541.XSL

應(yīng)用領(lǐng)域：

掃描顯微鏡

超分辨率顯微鏡

生物技術(shù)

掩模/晶圓定位

樣本定位

干涉測(cè)量

計(jì)量

產(chǎn)品參數(shù)：

型號(hào)：P-541.ZSL

主動(dòng)軸：Z

集成傳感器：應(yīng)變片傳感器

-20至120 伏時(shí)Z向上的開環(huán)行程：150微米

θX、θY向上-20至120 伏時(shí)的開環(huán)偏擺角：–毫弧度

Z向上的閉環(huán)行程：100微米

θX,、θY向上的閉環(huán)偏擺角：-毫弧度

Z向上的分辨率,，開環(huán)：0.2納米

θX、θY向上的開環(huán)分辨率：–微弧度

Z向上的閉環(huán)分辨率：2.5納米

θX,、θY向上的閉環(huán)分辨率：–微弧度

Z,、θX、θY向上的線性誤差：0.2%

Z向上的重復(fù)精度：<10納米

θX,、θY向上的重復(fù)精度：–微弧度

θX,、θY向上的串?dāng)_（Z向運(yùn)動(dòng)）：±15微弧度

產(chǎn)品參數(shù)：

型號(hào)：P-541.TSL

主動(dòng)軸：Z,θX,θY

集成傳感器：應(yīng)變片傳感器

-20至120 伏時(shí)Z向上的開環(huán)行程：150微米

θX、θY向上-20至120 伏時(shí)的開環(huán)偏擺角：±0.6毫弧度

Z向上的閉環(huán)行程：100微米

θX,、θY向上的閉環(huán)偏擺角：±0.4毫弧度

Z向上的分辨率,，開環(huán)：0.2納米

θX、θY向上的開環(huán)分辨率：0.02微弧度

Z向上的閉環(huán)分辨率：2.5納米

θX,、θY向上的閉環(huán)分辨率：0.25微弧度

Z,、θX、θY向上的線性誤差：0.2%

Z向上的重復(fù)精度：<10納米

θX,、θY向上的重復(fù)精度：0.05微弧度

θX,、θY向上的串?dāng)_（Z向運(yùn)動(dòng)）：±15微弧度

德國PI Physik Instrumente 光學(xué)實(shí)驗(yàn)位移臺(tái) 壓電陶瓷位移臺(tái) P-541.XSL