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P7 P-7臺階儀/輪廓儀

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,,謝謝!


北京中海遠(yuǎn)創(chuàng)材料科技有限公司,,專業(yè)負(fù)責(zé)KLA(科磊半導(dǎo)體)微納米力學(xué)測試系統(tǒng)(納米壓痕儀,、SEM原位壓痕儀、拉伸儀等),、探針式臺階儀,、形貌儀、三維光學(xué)輪廓儀等設(shè)備技術(shù)的銷售和技術(shù)應(yīng)用服務(wù)工作,。

KLA公司是世界工藝控管與良率管理解決方案的提供商,,與世界各地的客戶合作開發(fā)*的檢測和量測技術(shù),并且將這些技術(shù)致力于*材料,、物理、微器件,、半導(dǎo)體,、LED 及其他相關(guān)微納研究和生產(chǎn)領(lǐng)域。憑借行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品組合和優(yōu)秀的工程師及科學(xué)家團(tuán)隊,,近 40 年來公司持續(xù)為客戶打造滿意的解決方案,。

北京中海遠(yuǎn)創(chuàng)材料科技有限公司是KLA微納米力學(xué)測試系統(tǒng)、SEM/FIB原位納米力學(xué)測試系統(tǒng),、探針式臺階儀,、三維光學(xué)輪廓儀等設(shè)備的渠道商,服務(wù)范圍遍及全國各地,。微納力學(xué)測試系統(tǒng)包括業(yè)內(nèi)聲譽(yù)很高應(yīng)用很廣泛的G200,、iMicro、iNano型納米壓痕儀,,T150型納米拉伸儀,,以及常溫和高溫原位納米壓痕儀等等。KLA公司新研發(fā)的G200X型納米壓痕儀在G200型的基礎(chǔ)上又增加了一些新功能,,使設(shè)備的性價比又提高了一個新臺階,。輪廓儀系統(tǒng)包括*的Zeta系列,P系列,、D系列等產(chǎn)品,。

我公司擁有一支專業(yè)誠信的技術(shù)、銷售,、管理團(tuán)隊,,有著豐富的從業(yè)經(jīng)驗,自公司創(chuàng)立以來,,在科研,、生產(chǎn)等多個領(lǐng)域為客戶提供了有競爭力的產(chǎn)品和技術(shù)服務(wù)。

我們始終秉承服務(wù)至上的宗旨,依托專業(yè)化的團(tuán)隊,、全國性的營銷網(wǎng)絡(luò)和有影響力的品牌,,在不斷優(yōu)化服務(wù)質(zhì)量、擴(kuò)大市場輻射范圍的同時,,為客戶提供更全面的服務(wù),。


納米壓痕儀,臺階儀,,輪廓儀,,探針臺,高速相機(jī)

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 電子,冶金,航天,汽車,電氣

KLA是半導(dǎo)體在線檢測設(shè)備市場較大的供應(yīng)商,,在半導(dǎo)體,、數(shù)據(jù)存儲、 MEMS ,、太陽能,、光電子以及其他域中有著不俗的*。P-7臺階儀/輪廓儀是KLA公司的第八代探針式臺階儀系統(tǒng),,歷經(jīng)技術(shù)積累和不斷迭代更新,,集合眾多技術(shù)優(yōu)勢。 P-7臺階儀/輪廓儀建立在市場先的P-17臺式探針輪廓分析系統(tǒng)的成功基礎(chǔ)之上,。 它保持了P-17技術(shù)的測量性能,,并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了好的性價比。 P-7可以對臺階高度,、粗糙度,、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量,其掃描可達(dá)150mm而無需圖像拼接,。從可靠性表現(xiàn)來看,, P-7具有較好的測量重復(fù)性。UltraLite®傳感器具有動態(tài)力控制,,良好的線性,,和精準(zhǔn)的垂直分辨率等特性。友好的用戶界面和自動化測量可以適配大學(xué),、研發(fā),、生產(chǎn)等不同應(yīng)用場景。



       




   二,、 功能

   設(shè)備特點(diǎn)

   臺階高度:幾納米至1000um

   微力恒力控制:0.03mg至50mg

   樣品全直徑掃描,,無需圖像拼接

   視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī)

   圓弧矯正:消除由于探針的弧形運(yùn)動引起的誤差

   生產(chǎn)能力:通過測序,模式識別和SECS/GEM實(shí)現(xiàn)全自動化

   主要應(yīng)用

   薄膜/厚膜臺階

   刻蝕深度測量

   光阻/光刻膠臺階

   柔性薄膜

   表面粗糙度/波紋度表征

   表面曲率和輪廓分析

   薄膜的2D Stress量測

   表面結(jié)構(gòu)分析

   表面3D輪廓成像

   缺陷表征和分析

   其他多種表面分析功能

   三,、應(yīng)用案例

·    臺階高度

   P-7可以提供納米到1000μm的2D和3D臺階高度的測量,。 這使其能夠量化在蝕刻,,濺射,SIMS,,沉積,,旋涂,CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料,。P-7具有恒力控制功能,,無論臺階高度如何都可以動態(tài)調(diào)整并施加相同的微力。這保證了良好的測量穩(wěn)定性并且能夠測量諸如光刻膠的軟性材料,。


   紋理:粗糙度和波紋度

   P-7提供2D和3D紋理測量并量化樣品的粗糙度和波紋度,。軟件濾鏡功能將測量值分為粗糙度和波紋度部分,并計算諸如均方根(RMS)粗糙度之類的參數(shù),。

   外形:翹曲和形狀

   P-7可以測量表面的2D形狀或翹曲,。這包括對晶圓翹曲的測量,例如半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中的多層沉積期間由于層與層的不匹配是導(dǎo)致這種翹曲的原因,。P-7還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑,。


   應(yīng)力:2D和3D薄膜應(yīng)力

   P-7能夠測量在生產(chǎn)包含多個工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。 使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置并精確測量樣品翹曲,。然后通過應(yīng)用Stoney方程,利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計算應(yīng)力,。2D應(yīng)力通過在直徑達(dá)200mm的樣品上通過單次掃描測量,,無需圖像拼接。3D應(yīng)力的測量采用多個2D掃描,,并結(jié)合θ平臺在掃描之間的旋轉(zhuǎn)對整個樣品表面進(jìn)行測量,。


   缺陷復(fù)檢

   缺陷復(fù)查用于測量如劃痕深度之類的缺陷形貌。缺陷檢測設(shè)備找出缺陷并將其位置坐標(biāo)寫入KLARF文件,?!叭毕輳?fù)檢”功能讀取KLARF文件、對準(zhǔn)樣本,,并允許用戶選擇缺陷進(jìn)行2D或3D測量,。



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