經(jīng)濟三維光學(xué)輪廓儀Profilm 3D光學(xué)輪廓儀具有以下優(yōu)點：

   ?   價格優(yōu)勢：市場上具性價比的白光干涉輪廓儀,，具有價格優(yōu)勢的高精度輪廓儀,。

   ?   快速測量大面積區(qū)域：測量范圍為毫米級別，配置XY樣品臺達(dá)100mm*100mm,，可實現(xiàn)大面積樣品的輕松測量,；

   ?   簡單易用：只需將樣品放置于樣品臺上，即可直接進(jìn)行測量,；

   ?   可以測量非接觸式非平坦樣品：由于光學(xué)輪廓測量法是一種非接觸式技術(shù),，可以輕松測量彎曲和其他非平面表面。還輕松地測量曲面的表面光潔度,，紋理和粗糙度。除此之外,，作為一種非接觸式方法光學(xué)輪廓儀不會像探針式輪廓儀那樣損壞柔軟的薄膜,。

   ?   無需更換耗材：只需要一個LED光源，無需其他配件更換,；

   ?   可視化3D功能：Profilm 3D輪廓儀具有強大的處理軟件,，軟件除包括表面粗糙度，形狀和臺階高度的測量外,，還可以任意角度移動樣品量測三維圖形,，多角度分析樣品圖像,。

適用于各類樣品：Profilm 3D輪廓儀適用于各類金屬、非晶硅和多晶硅,、陶瓷材料,、電介質(zhì)、硬質(zhì)涂層,、高分子聚合物,、光刻膠等的表面輪廓及粗糙度等測量。

Profilm 3D光學(xué)輪廓儀功能：

?   用于測量粗糙度

使用Profilm 3D經(jīng)濟三維光學(xué)輪廓儀可以以秒為單位測量表面紋理,，光潔度和粗糙度,，只需單擊鼠標(biāo)即可完成。Profilm3D采用白光干涉測量（WLI）和相移干涉測量（PSI）等行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)技術(shù),，可快速測量大面積2D區(qū)域的粗糙度和紋理,，無需接觸樣品。

?   測量曲面樣品

由于Profilm 3D是一種非接觸式技術(shù),，因此可以輕松測量彎曲和其他非平面表面,。另外在測量方法中添加形狀去除（也稱為形狀去除）和過濾，即可輕松實現(xiàn)表面光潔度,，紋理和粗糙度的測量,！

?   任何粗糙度參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)

Profilm 3D擁有47個ASME / EUR / ISO粗糙度參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)?？梢栽诮Y(jié)果中顯示其中的任何一個或全部,，從而使自定義報告變得輕而易舉。符合ISO 9000和ASME B46.1標(biāo)準(zhǔn),，ISO現(xiàn)在*支持測量表面粗糙度的光學(xué)方法,。特別是，ISO 25178第604部分描述了Profilm3D的WLI方法（其中也稱為相干掃描干涉測量法）,。

二,、主要功能

  主要應(yīng)用

臺階高度

表面粗糙度

線寬及輪廓

  技術(shù)能力

厚度范圍，VSI  50nm-100mm

厚度范圍,，PSI  0-3 µm

樣品反射率范圍 0.05%-100%

Piezo范圍 500 µm

XY平臺范圍100mm x 100mm

三,、應(yīng)用

臺階高度、表面形貌,、表面粗糙度,、大面積拼接等