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D-300 D500 Alpha-Step臺階儀

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 上海納騰儀器有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 D-300 D500
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2024/6/17 16:56:50
  • 訪問次數(shù) 3811
產(chǎn)品標(biāo)簽

臺階儀臺階探針式D-300D-500

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上海納騰儀器有限公司是從事掃描探針顯微鏡(SPM)銷售的專業(yè)公司,。公司作為俄羅斯NT-MDT在中國大陸及港、澳地區(qū)的經(jīng)銷商(RESELLER),,在掃描探針顯微鏡(SPM)領(lǐng)域有多年的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn),,擁有一支成熟的銷售、技術(shù)團(tuán)隊(duì),,迄今已累計銷售超過100臺(套)儀器。



掃描探針顯微鏡光學(xué)顯微鏡納米光學(xué)輪廓儀教學(xué)型凝固點(diǎn)測定儀日本原裝桌面式隔振平臺

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子,航天,綜合

一. Alpha-Step臺階儀設(shè)備特點(diǎn)

  • 臺階高度:幾納米至1000μm(D500 至1200μm)

  • 低觸力:0.03至15mg

  • 視頻:500萬像素率彩色攝像頭

  • 梯形失真校正:消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真

  • 圓弧校正:消除由于探針的弧形運(yùn)動引起的誤差

  • 緊湊尺寸:小占地面積的臺式探針式輪廓儀


   主要應(yīng)用

  • 臺階高度:2D臺階高度

  • 紋理:2D粗糙度和波紋度

  • 形式:2D翹曲和形狀

  • 應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力

   應(yīng)用領(lǐng)域


    大學(xué),,研究實(shí)驗(yàn)室和研究所

  • 半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體

  • SIMS:二次離子質(zhì)譜

  • LED:發(fā)光二極管

  • 太陽能

  • MEMS:微電子機(jī)械系統(tǒng)

  • 汽車

  • 醫(yī)療設(shè)備

二. Alpha-Step臺階儀應(yīng)用案例

臺階高度

  Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀能夠測量從幾個納米到1000μm的2D臺階高度(D-500則是幾納米到1200微米),。 這使其可以量化在蝕刻、濺射,、SIMS,、沉積、旋涂,、CMP 和其他工藝期間沉積或去除的材料,。 Alpha-Step系列具有低觸力功能,可以測量如光刻膠的軟性材料,。

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紋理:粗糙度和波紋度

  Alpha-Step D-300/500 測量 2D 紋理,,量化樣品的粗糙度和波紋度。 軟件過濾功能將測量值分離為粗糙度和波紋度的部分,,并計算諸如均方根(RMS)粗糙度之類的參數(shù),。

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外形:翹曲和形狀

   Alpha-Step D-300/500可以測量表面的2D形狀或翹曲。 這包括對晶圓翹曲的測量,,例如在半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中,,多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配是導(dǎo)致這類翹曲產(chǎn)生的原因。Alpha-Step還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑,。

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應(yīng)力:2D薄膜應(yīng)力

  Alpha-Step D-300/500能夠測量在生產(chǎn)包含多個工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力,。 使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置精確測量樣品翹曲,。 然后通過應(yīng)用Stoney方程,利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計算應(yīng)力,。

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