以前我們要根據(jù)不同的觀察信號來調(diào)整樣品與透鏡之間的距離（工作距離／以下簡稱WD）,，以獲得最佳的觀察與分析條件,，而SU7000通過新研發(fā)的樣品倉以及檢測器系統(tǒng)，可在同樣的WD的條件下更高效地接收各種信號,，縮短了樣品觀察和分析的時間,，提高了測試效率?！?/span>

而且,，日立SU7000熱場發(fā)射掃描電鏡還配置了可同時6通道顯示界面（前代機型只能同時顯示4通道），進一步升級電鏡控制系統(tǒng),，大幅提高了信號獲取速度,，由此實現(xiàn)了樣品的高效率觀察。它還標配超大樣品倉,，增設了附件接口,，可適用于各種樣品的觀察與分析。

日立SU7000熱場發(fā)射掃描電鏡主要特點：

在相同的WD條件下,，可同時實現(xiàn)二次電子,，背散射電子觀察與X射線能譜分析。

可同時實現(xiàn)6通道檢測與顯示,；

成像分辨率最大可達10240x7680像素,；

配置18個附件接口，支持低至300Pa的低真空模式觀察,；（選配）