SuperView W1系列三維表面形貌儀基于白光干涉原理研制而成,，采用擴(kuò)展型的相移算法EPSI，集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點,，單一模式即可適用于從超光滑到粗糙,、平面到弧面等各種表面類型，讓3D測量變得簡單,。

白光干涉原理

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號：SuperView W1

產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng)：1024×1024

光學(xué)ZOOM：0.5×,，（0.75×,，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×,，5×，20×,，50×,，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm,，電動,、手動同時具備，均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程：100mm,，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可測樣品反射率：0.05%-100%

水平調(diào)整：±5°手動

粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm

臺階高測量：準(zhǔn)確度0.3%,，重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析,、快速高效

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

產(chǎn)品型號：SuperView W1-Pro

產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng)：1024×1024

干涉物鏡：10×,，（2.5×，5×,，20×,，50×，100×可選）

XY位移平臺：尺寸300×300mm,，行程200×200mm,，電動

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可測樣品反射率：0.05%-100%

水平調(diào)整：±5°手動

粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm

臺階高測量：準(zhǔn)確度0.3%,，重復(fù)性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測,，一鍵分析、快速高效

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

技術(shù)指標(biāo)

產(chǎn)品特點

參數(shù)測量：粗糙度,、微觀輪廓尺寸,、角度、面積,、體積,，一網(wǎng)打盡；

環(huán)境噪聲檢測：實時監(jiān)測,，納米波動,，也無可藏匿；

雙重防撞保護(hù)：軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器,，讓“以卵擊石”也能安然無恙,；

自動拼接：3軸光柵閉環(huán)反饋，讓3D拼接“天衣無縫”,；

雙重振動隔離：氣浮隔振,，吸音隔振,，任你“地動山搖，我自巋然不動”,。

產(chǎn)品性能

縱向掃描：≤10.3mm,，與選用物鏡相關(guān)

掃描幀速：50FPS/s

粗糙度重復(fù)性：0.005nm（依據(jù)ISO 25178-2012）

光學(xué)分辨率：0.4μm~3.7μm，與選用物鏡相關(guān)

*大點數(shù)：1048576（標(biāo)準(zhǔn)）

臺階測量：準(zhǔn)確度≤0.3%,，重復(fù)性≤0.08%1σ

SuperView W1系列三維表面形貌儀結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù)?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工,、微納材料及制造,、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中,。可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D,、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn),。