布魯克光學(xué)輪廓儀ContourX-500是世界上全面的快速，非接觸式3D表面計量自動化臺式系統(tǒng),。該系統(tǒng)集成了布魯克專有的自動傾斜光學(xué)測頭,，可以編程并自動測試一定角度范圍內(nèi)的表面特征，并能減少跟蹤誤差,。

滿足計量要求,，具有高Z軸分辨率和準(zhǔn)確性，并在更小的占地面積內(nèi)提供了布魯克的白光干涉儀落地式型號所有業(yè)界*的優(yōu)點,。

借助其新的USI通用掃描模式,，本產(chǎn)品可以輕松地針對各種復(fù)雜應(yīng)用場景定制分析方法。這些場景涵蓋了從精密加工表面和半導(dǎo)體工藝制程,，到眼科和MEMS器件的R＆D表征，可用于表面粗糙度,，RDLxian進(jìn)封裝工藝厚度等測試,。

布魯克光學(xué)輪廓儀ContourX-500高級自動化功能：

專有的自動傾斜測頭為生產(chǎn)和監(jiān)測提供了靈活性,。通過將自動傾斜測頭與光學(xué)裝置耦合在顯微鏡上，布魯克實現(xiàn)了測試位置不受傾斜角度影響的測量,。進(jìn)一步結(jié)合自動樣品臺和物鏡塔臺,，使得ContourX-500非常適合“按需測量”工業(yè)要求，且占用空間小,。

*進(jìn)的臺式三維形貌計量設(shè)備：

與放大倍率無關(guān)的Z軸分辨率

自動化功能,，包含帶編碼器的XY軸樣品臺、自動測頭傾斜和自動亮度調(diào)整

更緊湊的氣動減震臺設(shè)計

測量與分析功能：

易于使用的界面,，可快速準(zhǔn)確地獲得結(jié)果

廣泛的自動化功能,，可量身定制測量和分析程序

*泛的濾鏡和分析工具

滿足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等標(biāo)準(zhǔn)在內(nèi)的定制化分析報告