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NLD-570 刻蝕機

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刻蝕機

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青島泰斯邁儀器設備有限公司是專業(yè)半導體設備公司,,有完善的服務和銷售體系。專業(yè)經(jīng)營各類進口機械設備,儀器儀表及各種配件的一站式進口產(chǎn)品綜合服務商.我司主要代理巴克拉克BACHARACH鹵素檢漏儀H25-IR PRO,冷媒回收機,冷媒分析儀;愛發(fā)科ULVAC-氦質譜檢漏儀;愛發(fā)科ULVAC-真空計;愛發(fā)科ULVAC-真空泵;新機械NEW-MACHINE-快速接頭;神港精機SHINKO SEIKI-真空泵;東洋克斯TOYOX-膠管;康泰克CONTEC-板卡,工控機;大進DAISHIN-自動焊接機,點火器;德國SEW-電機減速機;松村MORESCO-潤滑油;出光IDEMITSU-潤滑油;

 

半導體設備

產(chǎn)地類別 進口 應用領域 能源

產(chǎn)品簡介:
研究開發(fā)向NLD干法刻蝕設備NLD-570,,是搭載了愛發(fā)科開創(chuàng)的磁性中性線(NLD- neutral loop discharge)等離子源的裝置,,此NLD技術可實現(xiàn)產(chǎn)生低壓、低電子溫度,、高密度的等離子,。。                                     

產(chǎn)品特性:
NLD用于與ICP方式相比更低壓,、高密度,、更低電子溫度等離子體的石英、玻璃,、水晶,、LN/LT基板的加工

•   高硬玻璃,、硼硅酸玻璃等不純物的多種玻璃加工,在形狀或表面平滑性方面有優(yōu)異的刻蝕性能

•   石英及玻璃作為厚膜resist mask時的也可實現(xiàn)深度刻蝕(100μ m以上)

•   可實現(xiàn)高速刻蝕(石英>1μ m/min,、Pyrex>0.8μ m/min)

•   可追加cassette室

產(chǎn)品應用:
• 光學器件(光衍射格子,、変調器、光開關等等),、凹凸型微透鏡    

• 流體路徑作成或光子學結晶



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