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Pioneer 120 PLD System 脈沖激光沉積系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京正通遠(yuǎn)恒科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) Pioneer 120 PLD System
  • 產(chǎn)地 美國(guó)
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2024/5/9 9:58:24
  • 訪問(wèn)次數(shù) 569

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北京正通遠(yuǎn)恒科技有限公司成立于2001年,是一家經(jīng)營(yíng)歐美等國(guó)測(cè)試儀器和設(shè)備,并將技術(shù)引入國(guó)內(nèi)的科技服務(wù)型企業(yè).經(jīng)過(guò)十年的發(fā)展,公司在北京,、上海,、廣州,、合肥均設(shè)有辦事處。

公司的主營(yíng)儀器包括:分子相互作用分析儀器,、表/界面分析測(cè)試儀器,、半導(dǎo)體器件測(cè)試儀器、薄膜沉積與表征儀器等,。

公司愿意成為深刻了解客戶心理,、全面滿足客戶需求,,以應(yīng)用為基礎(chǔ)的專業(yè)儀器設(shè)備供應(yīng)商,、專有技術(shù)提供商,實(shí)現(xiàn)公司在行業(yè)內(nèi)的超常規(guī)發(fā)展,。





產(chǎn)品主要涉及以下四個(gè)方面:1. 表面/界面2. 生物/藥物分子相互作用3. 界面/混凝土流變4. 薄膜沉積與表征

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,航天,汽車,綜合

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Pioneer120 PLD System是基礎(chǔ)型獨(dú)立PLD系統(tǒng),,用于制備高質(zhì)量的外延薄膜、多層異質(zhì)結(jié),、超晶格等,。該P(yáng)LD系統(tǒng)與Pioneer 120 Advanced系統(tǒng)和Pioneer 180 PLD系統(tǒng)的主要區(qū)別是襯底加熱階段。Pioneer 120 Advanced系統(tǒng)使用導(dǎo)電加熱階段用于襯底加熱,, 其他模型使用輻射加熱階段,。為了達(dá)到950°c的額定高溫,基板必須與加熱板緊密接觸,,用銀漿提供加熱板和基板之間的緊密接觸(當(dāng)需要這些高溫時(shí)),。在不需要銀漿的情況下,還提供襯底夾來(lái)固定襯底,。在這些情況下, highest 襯底溫度可能低于額定950°c,。加熱器是氧兼容的,能達(dá)到1大氣(760托)的氧, 這個(gè)特性有助于制備外延氧化薄膜:可能需要在氧氣環(huán)境后沉積和氧氣壓力接近1 atmosphere后退火冷卻,。Pioneer 120 PLD系統(tǒng)包括一個(gè)自動(dòng)多目標(biāo)轉(zhuǎn),,具有目標(biāo)旋轉(zhuǎn)、目標(biāo)光柵和軟件控制的多層和超晶格沉積所需的目標(biāo)選擇,。閉環(huán)壓力控制提供了使用質(zhì)量流量控制器的精確過(guò)程壓力控制,。干式泵是由機(jī)械隔膜泵或渦旋泵支持的渦輪分子泵組合而成。該系統(tǒng)軟件(Windows 7, LabView 2013)控制基材加熱器,,目標(biāo)轉(zhuǎn),,過(guò)程壓力,系統(tǒng)泵和激光觸發(fā),。


產(chǎn)品特點(diǎn)

獨(dú)立的交鑰匙PLD系統(tǒng),。

外延薄膜、多層異質(zhì)結(jié)構(gòu)和超晶格的沉積,。

納米級(jí)薄膜的沉積,。

外延氧化膜沉積的可編程氧兼容加熱器,。

自動(dòng)多目標(biāo)旋轉(zhuǎn)多層沉積。

全干式真空泵組,。

通過(guò)系統(tǒng)軟件進(jìn)行閉環(huán)壓力控制,。


技術(shù)指標(biāo)

1、沉積室

8”CF泵口,。8”CF襯底加熱器端口,。8“CF的目標(biāo)

2、旋轉(zhuǎn)端口

可編程導(dǎo)電襯底加熱器

加熱器最\高溫度:950℃,。

最\大加熱器尺寸:直徑2英寸(其他尺寸為定制),。

3、抽真空包組

全干真空泵,。渦輪分子泵支持隔膜或渦旋泵,。

4、PLD系統(tǒng)軟件

Windows 7, LabVIEW 2013

控制襯底加熱階段,。

控制目標(biāo)旋轉(zhuǎn)階段,。

5、PLD光學(xué)組件

用于248nm的45°激光鏡,。

248nm平面凸透鏡,。

焦距約為50厘米。















































































































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