光刻機溫度控制裝置安裝注意事項

光刻機溫度控制裝置安裝注意事項

　　市場上關于光刻機溫度控制裝置的類型有多種，不同類型的光刻機溫度控制裝置其使用方法,、作用,、結(jié)構(gòu)等都存在一定的差異，所以企業(yè)在選擇時根據(jù)企業(yè)的狀況選擇適合自己的產(chǎn)品,。

　　一,、光刻機溫度控制裝置的安裝方法：

　　（1）光刻機溫度控制裝置運行時要產(chǎn)生熱量,，應確保冷卻空氣的流通,，安裝時周圍應留有一定的空間，產(chǎn)生的熱量向上散發(fā),，所以不要安裝在不耐熱設備的周圍,。

　?。?/font>2）光刻機溫度控制裝置應直接安裝在水平面，請勿倒裝,、斜裝或垂直安裝,。

　　（3）光刻機溫度控制裝置不能安裝在有各種纖維,、紙片（屑）,、金屬碎塊等場所。

　?。?/font>4）光刻機溫度控制裝置的出水口應與您的儀器的進水口相連接,，儀器的出水口應與本冷卻循環(huán)水機的進水口相連接。

　　二,、光刻機溫度控制裝置的注意事項：

　?。?/font>1）電源一定要連接于主電源端子。如果錯將電源連接于其它端子,，將損壞冷卻循環(huán)水機,。另外應確認電源電壓是否在允許電壓范圍內(nèi),。

　?。?/font>2）接地端子須良好接地，防止電擊或火災事故,。

　?。?/font>3）如是分體機，室內(nèi)機與室外機的氟路連接須由凍水機,、光刻機溫度控制裝置廠家的技術人員負責安裝或調(diào)試,。

　　（4）光刻機溫度控制裝置,，應見各接線端子,，接線時千萬不要接錯線。

　?。?/font>5）各端子和連接線之間是否有短路或?qū)Φ囟搪贰?/font>

　?。?/font>6）如使用溫度較低請在循環(huán)液里加上防凍液。

　?。?/font>7）一定要用壓接端子連接端子和導線,，保證連接的可靠性。

　?。?/font>8）完成電路連接后,，請檢查連接是否都正確無誤。

（9）有無漏接線,。