光刻機用冷水機組的安裝要求有哪些

光刻機用冷水機組的安裝要求有哪些

　　為確保光刻機用冷水機組的靠譜及正常運行,，防止不適當?shù)乃涔苈肥┕ぴ斐傻睦渌畽C故障,，安裝本機組時應注意下列事項：

　　光刻機用冷水機組的電源注意事項

　　1,、光刻機用冷水機組電源采用三相四線、電源線接電源火線,，接零線,，（G）接地線。

　　2,、光刻機用冷水機組用主電源線線電控箱上的穿孔連接在箱內(nèi)接柱上,，保證連接緊固。

　　3,、機組配電要求：主電源電壓：額定電壓范圍以內(nèi),。

　　4、主電源電壓波動超過規(guī)定范圍時,，不準起動冷水機,、否則視作操作不當，由此引起的損壞不在本公司保養(yǎng)范圍之內(nèi),。

　　5,、水系統(tǒng)之水流開關、水泵,、冷卻水塔電機等聯(lián)鎖電路必要時可正確連接在機組控制電路中,。

　　6、光刻機用冷水機組設有電流過載保護,、壓縮機排氣端之高低壓保護,，馬達線圈過熱保護、防冰保護,，冷卻水之水流連鎖保護等多種措施,，切勿擅自改動、如需改動請與廠家聯(lián)絡,。

　　光刻機用冷水機組的安裝注意事項

　　1,、吊運安裝光刻機用冷水機組時注意不要損壞機組，合理布局光刻機用冷水機組周圍空間,，以方便維修保養(yǎng)光刻機用冷水機組,。

　　2、按照對配管系統(tǒng)設計及施工安裝的要求,，合理設計和安裝凍水及冷卻水系統(tǒng),，以充分發(fā)揮光刻機用冷水機組性能。

　　3,、機組應水平放置,，及安裝在通風位置。

　　4,、根據(jù)機組制冷能力選用匹配的冷卻塔,。

　　5,、機組配管請參照本公司建議之配管方法安裝施工。

　　6,、水源及散熱水塔周圍環(huán)境惡劣時,，冷凍水和冷卻水回路須安裝Y型過濾器及定時清理，封閉冷凍水系統(tǒng)較高處須安裝自動排氣閥,、系統(tǒng)較低處安裝排水接頭,，以系統(tǒng)排水用。

7,、冷凍水管路系統(tǒng)通過試漏后,，包保溫層，避免冷量散失及管路滴水,。