化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>制冷設(shè)備>冷水機(jī)/冷卻循環(huán)水機(jī)>AES-4535 光刻機(jī)用冷水機(jī)組油堵故障知識(shí)分享
AES-4535 光刻機(jī)用冷水機(jī)組油堵故障知識(shí)分享
- 公司名稱 無(wú)錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司
- 品牌 LNEYA/無(wú)錫冠亞
- 型號(hào) AES-4535
- 產(chǎn)地 江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)機(jī)光電工業(yè)園鴻運(yùn)路203號(hào)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/1/13 8:46:32
- 訪問(wèn)次數(shù) 2057
蝕刻液冷卻裝置chiller元器件水冷機(jī)半導(dǎo)體高低溫測(cè)試機(jī)高低溫測(cè)試機(jī)
聯(lián)系方式：劉經(jīng)理13912479193 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,，謝謝!
制冷加熱循環(huán)器,、加熱制冷控溫系統(tǒng),、反應(yīng)釜溫控系統(tǒng)、加熱循環(huán)器,、低溫冷凍機(jī),、低溫制冷循環(huán)器、冷卻水循環(huán)器,、工業(yè)冷處理低溫箱,、低溫冷凍機(jī)、加熱制冷恒溫槽等設(shè)備
| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 價(jià)格區(qū)間 | 5萬(wàn)-10萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 冷卻方式 | 風(fēng)冷式 | 儀器種類 | 一體式 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,航天,制藥,汽車(chē) |
| 型號(hào) | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 溫度范圍 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空氣處理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar | |||||
| 系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)（高壓,、低壓） 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測(cè)顯示在觸摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西門(mén)子PLC,，模糊PID控制算法 | |||||
| 溫度控制 | 控制出風(fēng)口溫度 | |||||
| 可編程 | 可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟 | |||||
| 通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
| 設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備出口溫度,、制冷系統(tǒng)冷凝溫度,、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度,、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有） | |||||
| 溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
| 壓縮機(jī) | 法國(guó)泰康/艾默生 | |||||
| 蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
| 加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥過(guò)濾器,、油分離器、高低壓保護(hù)器,、膨脹閥,、電磁閥） | |||||
| 操作面板 | 無(wú)錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||
| 安全防護(hù) | 具有自我診斷功能,；相序斷相保護(hù)器,、冷凍機(jī)過(guò)載保護(hù)；高壓壓力開(kāi)關(guān),，過(guò)載繼電器,、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。 | |||||
| 制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
| 外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（風(fēng)）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 風(fēng)冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式,，冷凝風(fēng)機(jī)采用德國(guó)EBM軸流風(fēng)機(jī) | |||||
| 水冷型 W | 帶W型號(hào)為水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式換熱器（務(wù)必確保冷卻水清潔） | |||||
| 冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 電源 | 可定制460V 60HZ,、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 （標(biāo)準(zhǔn)顏色7035） | |||||
| 溫度擴(kuò)展 | 高溫到 +300℃ | |||||
光刻機(jī)用冷水機(jī)組油堵故障知識(shí)分享
光刻機(jī)用冷水機(jī)組油堵故障知識(shí)分享
光刻機(jī)用冷水機(jī)組產(chǎn)生油堵的主要原因：壓縮機(jī)缸體磨損嚴(yán)重或活塞與氣缸配合間隙過(guò)大所致。
隨光刻機(jī)用冷水機(jī)組壓縮機(jī)排汽油被排入冷凝器,，進(jìn)而隨同制冷劑一起進(jìn)入干燥過(guò)濾器,，由于油的粘度較大，被過(guò)濾器內(nèi)的干燥劑阻住,，油過(guò)多時(shí)在過(guò)濾器處形成堵塞,，使制冷劑不能正常循環(huán)，制冷設(shè)備不制冷。
造成光刻機(jī)用冷水機(jī)組其他管路堵塞的原因是：在焊接管路時(shí)被焊料堵塞,；或在更換管子時(shí)所更換的管子本身已堵塞而未發(fā)現(xiàn),，以上堵塞都是人為因素造成，因此要求在焊接和更換管子時(shí),，應(yīng)按要求進(jìn)行操作和檢查,，就不會(huì)造成人為堵塞故障了。
光刻機(jī)用冷水機(jī)組油堵故障的排除：產(chǎn)生油堵故障,，說(shuō)明在光刻機(jī)用冷水機(jī)組內(nèi)殘存有過(guò)多的冷凍機(jī)油，以致影響制冷效果,，甚至不能制冷,，因此須將系統(tǒng)內(nèi)的冷凍機(jī)油清除干凈。
光刻機(jī)用冷水機(jī)組過(guò)濾器油堵時(shí)應(yīng)更換新過(guò)濾器,，同時(shí)用高壓氮?dú)獯党隼淠鲀?nèi)積存的部分冷凍機(jī)油,，在通入氮?dú)鈺r(shí)可用電吹風(fēng)機(jī)加熱冷凝器。
相關(guān)分類
該廠商的其他產(chǎn)品
- AES-4535 光刻機(jī)溫度控制裝置該如何選型
- AES-4535 光刻機(jī)冷卻機(jī)組保養(yǎng)維護(hù)須知
- AES-4535 半導(dǎo)體晶圓冷卻裝置維護(hù)保養(yǎng)要細(xì)節(jié)
- AES-4535 蝕刻機(jī)水冷機(jī)需要注意的選購(gòu)細(xì)節(jié)有哪些
- AES-4535 光刻機(jī)水冷機(jī)冷水機(jī)安裝位置考慮因素有哪些
- AES-4535 蝕刻機(jī)冷卻循環(huán)裝置廠家如何選擇比較好
- AES-4535 半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置開(kāi)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)注意事項(xiàng)
- AES-4535 蝕刻機(jī)水冷機(jī)使用防凍液需要遵循的原則
采購(gòu)中心
化工儀器網(wǎng)