光刻機(jī)制冷機(jī)組靠譜操作規(guī)范及注意事項(xiàng)

光刻機(jī)制冷機(jī)組靠譜操作規(guī)范及注意事項(xiàng)

　　光刻機(jī)制冷機(jī)組這是可以提供恒定溫度,，電流和壓力的冷卻水設(shè)備使用時(shí),，應(yīng)注意以下事項(xiàng),。

　　1.在安裝過程中，請檢查機(jī)器是否損壞,，并選擇合適的位置進(jìn)行安裝和以后的維護(hù)。

　　2.設(shè)備的安裝地點(diǎn)須是地板,，安裝墊或地基,，且水平度應(yīng)在范圍之內(nèi)，并且能夠承受設(shè)備的工作重量,。

　　3.單元應(yīng)放置在室溫下,，單元周圍和上方應(yīng)有足夠的空間進(jìn)行日常維護(hù)。

　　4.在單元的一端,，應(yīng)保留用于清潔冷凝器管束的抽氣空間,，也可以使用門的開口或其他位置合適的孔。

　　5.當(dāng)設(shè)備以較大功率運(yùn)行時(shí),，選擇具有適當(dāng)管徑的水管,，冷卻系統(tǒng)和冷水系統(tǒng)，并正確連接它們,。

　　6.對于普通應(yīng)用,，通過蒸發(fā)器和冷凝器的水流速應(yīng)在范圍之間。

　　7.在負(fù)載下,，水流均應(yīng)保持穩(wěn)定,。

　　8.所有冷凍水和冷卻水管應(yīng)按照常規(guī)方法進(jìn)行設(shè)計(jì)和安裝。冷凍水泵應(yīng)位于設(shè)備的進(jìn)水管上,，以確保設(shè)備中的正壓和流量,。配管時(shí)，應(yīng)設(shè)置減震管,，以確保適當(dāng)?shù)膹椥?，并在水泵停止時(shí)防止蒸發(fā)器的水排出。

　　9.應(yīng)獨(dú)立于組光刻機(jī)制冷機(jī)組牢固地支撐管道,，以避免對組光刻機(jī)制冷機(jī)組的組件施加壓力,。吊架的位置應(yīng)便于管道對齊。

　　10.為了減少噪音和振動,，較好在管道上安裝振動隔離器,。

　　11.為了經(jīng)濟(jì)有效地使用第光刻機(jī)制冷機(jī)組組，建議請水處理專家分析蒸發(fā)器和冷凝器的水質(zhì),。水質(zhì)差會導(dǎo)致結(jié)垢,，影響傳熱，產(chǎn)生腐蝕沉淀,，滋生有機(jī)物,，影響裝置的性能并增加運(yùn)行和維護(hù)成本,。

　　12.一般來說，正確的水處理和定期清潔管束可以保持其良好性能,。如果不能通過適當(dāng)?shù)姆椒ǜ纳片F(xiàn)有的水質(zhì)狀況,，則須使管束具有較大的結(jié)垢系數(shù)或使用特殊的結(jié)構(gòu)材料。

在操作光刻機(jī)制冷機(jī)組時(shí),，請注意上述事項(xiàng),，這一定會使您受益。