光刻機用冷水機中閥門的安裝方法

光刻機用冷水機中閥門的安裝方法

　　在光刻機用冷水機中，閥門的主要功能是控制制冷劑的流量和方向,。在日常使用中,，經(jīng)常使用閥門,。當行業(yè)冷水機需要停止或打開時，需要使用閥門,。由于其日常使用頻率很高,，因此在安裝過程中應多加注意，以確保其正常使用而不會影響工業(yè)的穩(wěn)定性冷水機,。

　　1.閥門應安裝在易于拆卸和維護的地方,。在安裝各種閥門時，請注意制冷劑的流動方向,，不要以相反的方向安裝它們,。

　　2.安裝光刻機用冷水機的法蘭閥時，須在法蘭板和閥法蘭上加高壓石棉板,，并根據(jù)閥門上法蘭槽的深度確定高壓石棉板的厚度,。當閥門較大而槽較深時，應使用較厚的石棉板,，以免它們之間的凹凸面界面容易留有間隙且密封不緊密,。組裝法蘭閥時，請確保所有螺栓受力均勻,，否則,，凹凸面容易產(chǎn)生偏斜。

　　3.截止閥的安裝應使工作流體從閥的??底部流到上部,。在水平管道上安裝時,，閥桿應垂直向上或傾斜一定角度，并且閥桿不得向下,。如果閥門位置難以接近或過高,，可以將閥桿水平安裝以方便操作。

　　4.在為光刻機用冷水機安裝止回閥時,，閥芯應能夠自動打開,。對于提升止回閥，閥芯的線和水平面應相互垂直,。對于旋啟式止回閥,，應確保閥芯板的旋轉(zhuǎn)，并且閥芯板須水平安裝,。

　　5.靠譜閥應直接安裝在設備出口的截止閥上,，閥體上的箭頭應與工作介質(zhì)的流向一致。

　　6.電磁閥須水平安裝在設備的出口處,，并位于定的位置,。

7.光刻機用冷水機中的熱力膨脹閥也須水平安裝。