FSM 500TC 高溫薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備
- 公司名稱 岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司
- 品牌 FSM
- 型號(hào) FSM 500TC
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/11/9 13:35:27
- 訪問(wèn)次數(shù) 6050
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,交通,航天,汽車,綜合 |
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美國(guó)FSM 高溫薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備
FSM500TC 應(yīng)力測(cè)量?jī)x
特殊功能和優(yōu)點(diǎn)
1. 多重導(dǎo)向銷設(shè)計(jì),手動(dòng)裝載樣品,,有優(yōu)異的重復(fù)性與再現(xiàn)性研究。
2. 優(yōu)異的分辨率——測(cè)量0.2um弓形高度變化超過(guò) 20M 的平鏡(大約 0.8%)
3. 全3D測(cè)繪的手動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái),。
4. 測(cè)量局部應(yīng)力---測(cè)量42 點(diǎn)/mm 并大于8400 點(diǎn)/200mm晶圓。這種測(cè)量密度獲得更好的信號(hào)噪聲比,。
5. *封閉的設(shè)計(jì),,溫度更穩(wěn)定,。
6. 特殊的設(shè)計(jì)使震動(dòng)偏移降到低。
7. 圖形式使用界面更容易使用,。
8. 當(dāng)改變彈性模數(shù),,晶圓或薄膜厚度設(shè)備會(huì)自動(dòng)重新計(jì)算應(yīng)力保存數(shù)據(jù)文檔,。
9. 可以計(jì)算雙軸彈性模量和線膨脹系數(shù)。
10. 可以計(jì)算應(yīng)力的均勻性,。
11. 可以輸出數(shù)據(jù)到Excel ,提供給SPC 分析
軟件
軟件提供大量參考方案,。參考方案是用于轉(zhuǎn)換掃描數(shù)據(jù)組。這種功能可以通過(guò)重新計(jì)算數(shù)據(jù)組去獲得不同環(huán)境的快速答案,,而不用再次測(cè)量晶圓,,這會(huì)節(jié)約許多時(shí)間和金錢,。
有些情況下初始晶圓是沉積晶圓,而用戶需要參考一張裸片去計(jì)算應(yīng)力,。我們的軟件可以讓用戶開(kāi)啟加熱循環(huán),,然后清除沉積物做*掃描測(cè)量,。這為客戶提供了靈活性,不限于*掃描,,第二次掃描序列。
多層薄膜測(cè)量,,用戶可以執(zhí)行在首層第二層以外的不同層的多層掃描,。它也允許用戶計(jì)算由不同層產(chǎn)生的應(yīng)力或由所有鋪設(shè)層在相同的數(shù)據(jù)文件中提供的組合應(yīng)力。這大大提高了設(shè)備的測(cè)量能力,,特別適用于研究環(huán)境里。
美國(guó)FSM 高溫薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備
為了測(cè)量應(yīng)力,,單片晶圓在掃描線上會(huì)被測(cè)量?jī)纱?,而晶圓的放置正確是獲得準(zhǔn)確和重復(fù)性好的數(shù)據(jù)的關(guān)鍵,。因此我們的晶圓卡盤專門設(shè)計(jì)成非常容易地準(zhǔn)確放置晶圓,,這不需要用戶太多的操作技巧,進(jìn)一步降低對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)的影響,。
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