DektakXT臺(tái)階儀,表面輪廓儀（探針式表面輪廓儀）是一項(xiàng)創(chuàng)新的設(shè)計(jì),，可以提供更高的重復(fù)性和分辨率,，測(cè)量重復(fù)性可以達(dá)到5埃。臺(tái)階儀這項(xiàng)性能的提高達(dá)到了過去四十年Dektak技術(shù)創(chuàng)新的,，更加鞏固了其行業(yè)地位,。不論應(yīng)用于研發(fā)還是產(chǎn)品測(cè)量，通過在研究工作中的廣泛使用,，DektakXT一定能夠做到功能更強(qiáng)大,，操作更簡(jiǎn)易，檢測(cè)過程和數(shù)據(jù)采集更完善,。第十代DektakXT臺(tái)階儀（探針式表面輪廓儀）的技術(shù)突破,，使納米尺度的表面輪廓測(cè)量成為可能，從而可以廣泛的應(yīng)用于微電子器件,，半導(dǎo)體,，電池，高亮度發(fā)光二極管的研發(fā)以及材料科學(xué)領(lǐng)域,。

DektakXT臺(tái)階儀,表面輪廓儀設(shè)計(jì)

探針系統(tǒng)的評(píng)價(jià)體系受三個(gè)因素影響：能否重復(fù)測(cè)量,，數(shù)據(jù)采集和分析速度快慢，操作的難易程度,。這些因素直接影響了數(shù)據(jù)的質(zhì)量和操作效率,。DektakXT利用全新結(jié)構(gòu)和和軟件來實(shí)現(xiàn)可重復(fù)、時(shí)間短,、易操作這三個(gè)必要因素,，達(dá)到儀器使用效果。

強(qiáng)化操作的可重復(fù)性 Delivering Repeatable Measurements

DektakXT在設(shè)計(jì)上的幾個(gè)提高,，使其在測(cè)量臺(tái)階高度重復(fù)性方面具有優(yōu)異的表現(xiàn),，臺(tái)階高度重復(fù)性可以到達(dá)5?.使用single-arch結(jié)構(gòu)比原先的懸臂梁設(shè)計(jì)更堅(jiān)硬持久不易彎曲損壞，而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動(dòng)噪音對(duì)測(cè)量信號(hào)的影響,。同時(shí),，Bruker還對(duì)儀器的智能化電子器件進(jìn)行完善，提高其穩(wěn)定性,，降低溫度變化對(duì)它的影響,，并采用*進(jìn)的數(shù)據(jù)處理器。在控制器電路中使用這些靈敏的電子元器件,會(huì)把可能引起誤差的噪音降到很低,，DektakXT的系統(tǒng)因此可以更穩(wěn)定可靠的實(shí)現(xiàn)對(duì)高度小于10nm的臺(tái)階的掃描,。Single-arch結(jié)構(gòu)和智能器件的聯(lián)用，大大降低了掃描臺(tái)的噪音，增強(qiáng)了穩(wěn)定性,，使其成為一個(gè)有競(jìng)爭(zhēng)力的臺(tái)階儀（表面輪廓儀）,。

提高數(shù)據(jù)采集和分析速度 SpeedingUp Collectionand Analysis

利用*的直接掃描平臺(tái)，DektakXT通過減少從得到原始數(shù)據(jù)到扣除背底噪音所需要的時(shí)間,，來提高掃描效率,。這一改進(jìn)，大大提高了大范圍掃描3D形貌或者對(duì)于表面應(yīng)力長(zhǎng)程掃描的掃描速度,。在保證質(zhì)量和重復(fù)性的前提下,，可以將數(shù)據(jù)采集處理的速度提高40%。另外,，DektakXT采用Bruker 64-Bit數(shù)據(jù)采集分析同步操作系統(tǒng)Vision64,，它可以提高大范圍3D形貌圖的高數(shù)據(jù)量處理速度，并且可以加快濾波器的工作速度和多模式掃描時(shí)的數(shù)據(jù)分析處理效率,。Vision64還具有有效直觀的用戶界面，簡(jiǎn)化了實(shí)驗(yàn)操作設(shè)置,，可以自動(dòng)完成多掃描模式,，使很多枯燥繁復(fù)的實(shí)驗(yàn)操作變得更快速簡(jiǎn)潔。

完善的操作和分析系統(tǒng) PerfectingOperationand Analysis

與DektakXT的創(chuàng)新性設(shè)計(jì)相得益彰的配置是Bruker的Vision64操作分析軟件,。Vision64提供了操作上實(shí)用簡(jiǎn)潔的用戶界面,，具備智能結(jié)構(gòu)，可視化的使用流程,，以及各種參數(shù)的自助設(shè)定以滿足用戶的各種使用要求,，快速簡(jiǎn)便的實(shí)現(xiàn)各種類型數(shù)據(jù)的采集和分析。

DektakXT 技術(shù)參數(shù)

—臺(tái)階高度重復(fù)性5?

—Single-arch設(shè)計(jì)大大提高了掃描穩(wěn)定性

—前置敏化器件,，降低了噪音對(duì)測(cè)量的干擾

—新的硬件配置使數(shù)據(jù)采集能力提高了40%

—64-bit,，這一Vision64同步數(shù)據(jù)處理軟件，使數(shù)據(jù)分析速度提高了十倍,。

功能強(qiáng)大,，操作簡(jiǎn)易

—直觀的Vision64用戶界面操作流程簡(jiǎn)便易行

—針尖自動(dòng)校準(zhǔn)系統(tǒng)讓用戶更換針尖不再是難事

臺(tái)階儀（表面輪廓儀）領(lǐng)域無可撼動(dòng)的地位

—布魯克的臺(tái)階儀，體積輕巧,，功能強(qiáng)大,。

—單傳感器設(shè)計(jì)提供了單一平面上低作用力和寬掃描范圍

應(yīng)用領(lǐng)域：MEMS、太陽能,、芯片,、光刻、刻蝕,、鍍膜,、LED、微電子、觸摸屏等領(lǐng)域,。

我們的部分客戶名單：清華大學(xué)微電子系,、清華大學(xué)微電子所、清華大學(xué)電子系等121家高校及研究所,，上海神舟新能源有限公司,、上海交大泰陽綠色能源有限公司、福建鈞石能源有限公司等幾百家工業(yè)公司,。