THERMOVAC-變送器

THERMOVAC 變送器基于*的MEMS技術(shù)和皮拉尼原理設(shè)計(jì),，具有*性價(jià)比。測量范圍從10^-5到1500豪巴之間,。THERMOVAC變送器耐沖擊,、耐振動(dòng)，測量重復(fù)性好,。
萊寶皮拉尼真空計(jì)TTR91N TTR96N?

TTR91N(S)/ TTR96N,，TTR911N(C/S)/ TTR916N，TTR101N(S) THERMOVAC系列真空變送器

真空壓力測量和原理隨著真空應(yīng)用領(lǐng)域的拓展,，對真空變送器量程的要求達(dá)到2000毫巴至10-12毫巴,，測量范圍達(dá)16個(gè)數(shù)量級。由于物理特性的原因,，沒有一個(gè)單獨(dú)的真空計(jì)能夠在整個(gè)壓力范圍內(nèi)進(jìn)行定量測量,。因此，萊寶真空提供一系列采用不同設(shè)計(jì)的具有各自*測量范圍（測量原理應(yīng)用直接壓力測量和間接壓力測量）的真空計(jì),。萊寶皮拉尼真空計(jì)TTR91N TTR96N?
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TTR91N(S)/ TTR96N,，TTR911N(C/S)/ TTR916N，TTR101N(S) THERMOVAC真空變送器

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TTR91N(S)/ TTR96N,，TTR911N(C/S)/ TTR916N,，TTR101N(S) THERMOVAC系列真空變送器

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TTR91N(S)/ TTR96N，TTR911N(C/S)/ TTR916N,，TTR101N(S) THERMOVAC系列真空變送器

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TTR91N(S)/ TTR96N，TTR911N(C/S)/ TTR916N,，TTR101N(S) THERMOVAC系列真空變送器

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TTR91N(S)/ TTR96N,，TTR911N(C/S)/ TTR916N，TTR101N(S) THERMOVAC系列真空變送器

真空壓力測量和原理

隨著真空應(yīng)用領(lǐng)域的拓展,，對真空變送器量程的要求達(dá)到2000毫巴至10^-12毫巴,，測量范圍達(dá)16個(gè)數(shù)量級。

由于物理特性的原因,，沒有一個(gè)單獨(dú)的真空計(jì)能夠在整個(gè)壓力范圍內(nèi)進(jìn)行定量測量,。因此，萊寶真空提供一系列采用不同設(shè)計(jì)的具有各自*測量范圍（測量原理應(yīng)用直接壓力測量和間接壓力測量）的真空計(jì),。

直接（）式壓力測量與被測量的氣體類型無關(guān),。利用機(jī)械方法,，通過作用于薄膜表面的壓力進(jìn)行測量,。

間接壓力測量通過測量氣體也壓力有關(guān)的性質(zhì)（例如熱導(dǎo)率,，電離概率）進(jìn)行間接測量的，因此間接壓力測量的結(jié)果取決于具體的氣體類型,。測量讀數(shù)是以空氣或氮?dú)鉃闇y量氣體時(shí)的讀數(shù),，對于其他氣體，可利用修正因數(shù)修正測量讀數(shù),。

萊寶真空變送器控制簡單,，極易與系統(tǒng)集成。

萊寶真空計(jì)的優(yōu)勢：

可靠性高

操作簡單

測量結(jié)果重復(fù)性好

持續(xù)監(jiān)測若干測量地點(diǎn)

安裝簡單并且節(jié)省成本和空間

測量地點(diǎn)和加工站之間的傳輸距離變長（可達(dá)100米）

通過數(shù)字/模擬接口將數(shù)據(jù)傳輸至PLC/計(jì)算機(jī)

符合電磁兼容性（EMC）要求

符合標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)程（CE,UL,RoHS,WEEE等）

THERMOVAC型變送器基于皮拉尼真空計(jì)的熱傳導(dǎo)原理設(shè)計(jì),，S型變送器配備集成的繼電器輸出,，適合工藝控制。THERMOVAC型變送器帶有360°LED環(huán)顯示真空計(jì)的狀態(tài),。

優(yōu)勢

采用MEMS技術(shù),。耐沖擊，耐震動(dòng)

精度高,，相應(yīng)速度快

可靠性高

TTR 91N(S)/ TTR 96N

測量原理

皮拉尼熱傳導(dǎo)真空計(jì)

量程范圍

5．10^-5到1000mbar

TTR 911N(C/S)/ TTR 916N

TTR 911N和TTR 916N系列配置數(shù)字接口或者觸碰顯示器,。C版帶有Parylene HT鍍膜適合腐蝕性應(yīng)用。

測量原理

皮拉尼熱傳導(dǎo)真空計(jì)

量程范圍

5．10^-5到1000mbar

TTR 101N(S)

TTR 101N系列真空計(jì)的采用基于MEMS技術(shù)固態(tài)傳感器單元,，耐沖擊和振動(dòng),。該真空計(jì)結(jié)合的皮拉原理與壓電原理的優(yōu)勢（10mbar到1500mbar測量結(jié)果與氣體種類無關(guān)）。

優(yōu)勢

復(fù)合真空計(jì)（MEMS皮拉尼與MEMS壓電薄膜）

精度高,，量程寬

測量原理

皮拉尼熱傳導(dǎo)/壓電壓力

量程范圍

5．10^-5到1500mbar

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