電子潔凈廠房技術要求規(guī)范

1、噪聲要求

1.1單向流和混合流潔凈室（區(qū)）的的噪聲級（空態(tài)）不應大于65dB（A）,，

1.2非單向流潔凈室（區(qū)）的噪聲級（空態(tài)）不應大于60dB（A）,。河南無塵車間凈化施工公司

2、消防要求

   2.1 按火災危險性分類,，甲,、乙類的房間與相鄰的生產(chǎn)區(qū)段或房間之間，或有防火分隔要求時,，應設隔墻,；

3、 物料凈化用室與潔凈室（區(qū)）之間應設置氣閘室或傳遞窗,。

4,、 潔凈室（區(qū)）內設置真空泵時，應符合下列規(guī)定：

4.1 使用油潤滑的真空泵應設置除油裝置,，除油后尾氣應排入排氣系統(tǒng),；

4.2 對傳輸含有可燃氣體的真空泵，可燃氣體濃度超過爆炸下限的20%時,，應設尾氣處理裝置,，在排入排氣系統(tǒng)前應去除或稀釋可燃氣體組分；

4.3 傳輸易燃,、自燃化學品或高濃度氧氣的真空泵,，應采用不燃泵油，并應配置氮氣吹掃,。氮氣吹掃控制閥應與生產(chǎn)工藝設備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖,。

5、 潔凈廠房的耐火等級不應低于二級,。

5.1在綜合性廠房的一個防火分區(qū)內，凈生產(chǎn)區(qū)域與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應設置不燃燒體隔斷設施,。不燃燒體隔斷設施應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB 50073的有關規(guī)定,。

5.2 潔凈廠房的安全出口的設置，應符合下列規(guī)定;

   1  每一生產(chǎn)層,、每個防火分區(qū)或每一潔凈室的安全出口數(shù)目,應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB 50073的有關規(guī)定

   2  安全出口應分散布置,并應設有明顯的疏散標志;安全疏散距離應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB 50016的有關規(guī)定,。安全疏散用門應向疏散方向開啟,并應設觀察玻璃窗;

   3  丙類生產(chǎn)的電子工業(yè)潔凈廠房,在關鍵生產(chǎn)設備自帶火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災報警探測系統(tǒng)后,安全疏散距離可按工藝需要確定,但不得大于本條第2款規(guī)定的安全疏散距離的1.5倍。

注：對于玻璃基板尺寸大于1500mm×1850mm 的TFT-LCD廠房,，且潔凈生產(chǎn)區(qū)人員密度小于0.02人/㎡,，其疏散距離應按工藝需要確定，但不得大于120m,。

5.3 潔凈廠房的潔凈區(qū)各層外墻應設置消防口,，并應符合下列規(guī)定：

1 潔凈區(qū)各層消防口的設計,，應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB 50073的有關規(guī)定；

2 潔凈廠房外墻上的吊門,、電控自動門以及裝有柵欄的窗,，均不應作為消防口。

5.4潔凈廠房內有爆炸危險的房間應靠建筑外墻布置,，且不得與疏散安全口（樓梯間）貼鄰,。有爆炸危險的房間的防爆措施、泄爆面積等應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB 50016的有關規(guī)定,。

6,、 潔凈廠房的建筑圍護結構和室內裝修，應選用氣密性良好,，且在溫度和濕度變化時變形小的材料,。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品品質有影響物質的材料。裝修材料的燃燒性能應符合現(xiàn)行國家標準《建筑內部裝修設計防火規(guī)范》GB 50222的有關規(guī)定,。裝修材料的煙密度等級不應大于50,，材料的煙密度等級應符合現(xiàn)行國家標準《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗方法》GB/T8627的有關規(guī)定。

7,、潔凈室（區(qū)）與周圍的空間應保持一定的靜壓差,，靜壓差應符合下列規(guī)定：

1 各潔凈室（區(qū)）與周圍空間的靜壓差應按生產(chǎn)工藝要求確定；

2 不同等級的潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應大于等于5Pa,；

3 潔凈室（區(qū)）與非潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差應大于5Pa,；

4  潔凈室（區(qū)）與室外的靜壓差應大于10Pa。

8,、  空氣潔凈度等級嚴于8級的潔凈室（區(qū)）不應采用散熱器采暖,。

9、  

 1 應防止室外氣流倒灌,；

2 含有易燃,、易爆物質的局部排風系統(tǒng)應按其物理化學性質采取相應防火防爆措施；

4 對含有水蒸汽或凝結物質的排風系統(tǒng),，應設置坡度及排放口,；

5 排風介質中含有害物質時，應設置備用排風機和處理設備,，并應設置應急電源,；

6 排風介質中含易燃、易爆等危險物質或工藝可靠性要求較高時,，應設置備用排風機,，并應設置應急電源；

7 排除有爆炸危險的氣體和粉塵的局部排風系統(tǒng)，其風量應按在正常運行和事故情況下,，風管內爆炸危險的氣體和粉塵的濃度不大于爆炸下限的20%計,；

8 排除有爆炸危險的氣體和粉塵的局部排風系統(tǒng)，應設置消除靜電的接地裝置,。

10,、 對排風系統(tǒng)中含有毒性、爆炸危險性物質的排氣管路,，應保持相對于路由區(qū)域一定的負壓值,。

11、潔凈室（區(qū)）事故排風系統(tǒng)的設計,，應符合下列規(guī)定：

1 事故排風區(qū)域的換氣次數(shù)不應小于12次/h,；

2 應設置自動和手動控制開關、手動控制開關應分別設置在潔凈室（區(qū)）和潔凈室（區(qū)）外便于操作的地點,；

3 應設置應急電源,。

7.6.1 潔凈廠房中的疏散走廊，應設置機械排煙設施,。

7.7.2 凈化空調系統(tǒng)的風管的防火閥的設置,，應符合現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB 50073的有關規(guī)定。

含有可燃,、有毒氣體或化學品的排風管道,，不得設置熔片式防火閥。

7.7.7

   2 排煙系統(tǒng)的風管應采用不燃材料制作,；

3 附件,、保溫材料和消聲材料等均應采用不燃材料或難燃材料。

8.3.1 生產(chǎn),、生活排水系統(tǒng)應分別設置,。生產(chǎn)排水系統(tǒng)應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)設備排出的廢水性質、污染物濃度和水量等特點確定,。有害廢水應經(jīng)廢水處理達到國家或地方排放標準后排放,。

8.3.2 潔凈室（區(qū)）內與電子產(chǎn)品生產(chǎn)設備相連接的重力排水管道，應在排出口以下部位設置水封裝置,。排水系統(tǒng)應有完善的通氣系統(tǒng),。

8.5.1 潔凈廠房必須設置消防給水系統(tǒng)。消防給水系統(tǒng)的設置應符合現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB 50016的有關規(guī)定,。

8.5.2

   1 潔凈室（區(qū)）的生產(chǎn)層及上下技術夾層（不含不通行的技術夾層），應設置室內消火栓,；

8.5.3

   3 存放可燃氣體鋼瓶的特氣柜中應設置自動滅火設施,。

9.2.3

   3 不循環(huán)支管的長度不應大于管徑的6倍；

4 干管應設置清洗口,；

12,、潔凈室(區(qū))內應設備用照明;

12.2.4 潔凈廠房內應設置供人員疏散用的應急照明,，其照度不應低于5.0lx。在安全出入口,、疏散通道或疏散通道轉角處應設置疏散標志,。在消防口應設置紅色應急照明指示燈。

12.3.2 潔凈廠房應設置火災自動報警系統(tǒng),，其防護等級應符合現(xiàn)行國家標準《火災自動報警系統(tǒng)設計規(guī)范》GB 50116的有關規(guī)定,。當防火分區(qū)面積超過現(xiàn)行國家標準《建筑設計防火規(guī)范》GB 50016規(guī)定的大建筑面積允許值時，保護等級應為一級,。

12.3.4

1 潔凈生產(chǎn)區(qū),、技術夾層、機房,、站房等均應設置火災探測器,，其中潔凈生產(chǎn)區(qū)、技術夾層應設置智能型探測器,；

3 硅烷儲存,、分配間（區(qū)），應設置紅外線—紫外線火焰探測器,；

 12.4.4 凈化空調系統(tǒng)采用電加熱器時,，電加熱器與風機應聯(lián)鎖控制,并應設置無風、超溫斷電保護,；當采用電加濕器時,，應設置無水、無風斷電保護,。

13.2.1

    2 防靜電地面的表層應采用靜電耗散性材料,，靜電耗散性材料表面電阻率應為2.5× ~1×?；  

3 防靜電地面應設置導靜電泄放設施和接地連接,，其地面對地泄放電阻值應為1×~1× ?,。

13.3.4對電子產(chǎn)品生產(chǎn)工程中產(chǎn)生靜電危害的設備、流動液體,、氣體或粉體管道應采取防靜電接地措施,，其中有爆炸和火災危險的設備、管道應符合現(xiàn)行國家標準《爆炸和火災危險環(huán)境電力裝置設計規(guī)范》GB 50058的有關規(guī)定,。河南無塵車間凈化施工公司